Сушіння on Radiant Infrared Heating

Енергетичний аудит для сушарки

Mon, 27 Jul 2026 16:58:57 +0800

Припиніть марнувати енергію у системах сушіння ваших заводів з виробництва напівпровідників
Будемо чесні: марнування енергії на заводах з виробництва напівпровідників – це просто марнування грошей. Це суттєво погіршує ваші операційні витрати.
Проблема полягає у тому, що більшість стандартних відбивачів є досить неефективними. Вони розсіюють інфрачервону енергію в усі боки, тож значна частина електроенергії, яку ви сплачуєте, взагалі не потрапляє на пластину.
Ми вирішили цю проблему, використовуючи відбивачі, покриті золотом високої чистоти. Замість того, щоб дозволяти енергії розсіюватися, ми фокусуємо її.
Чому саме золото?
Більшість людей використовують алюміній, але алюміній поглинає занадто багато енергії, а решту відбиває в різних напрямках. Золото ж є надзвичайно ефективним для відбиття ближньо-інфрачервоного світла.
Замість того, щоб стіни камери поглинали тепло, воно відбивається прямо вперед. Це значно підвищує ефективність використання енергії.
Як досягти правильного розподілу тепла
Коли ви фокусуєте енергію, ви швидше досягаєте необхідної температури сушіння. Але не можна просто посилити потік енергії.
Якщо тепло не розподіляється рівномірно по всій поверхні пластини, виникають „гарячі точки“. А це призводить до деформації кремнію. Ми докладаємо багато зусиль, щоб забезпечити рівномірний розподіл енергії, щоб досягти потрібної швидкості без ризиків.
Проблеми та способи їх вирішення
Проблема полягає у тому, що золоті покриття є досить дорогими. Вони не можуть витримати вплив корозійних хімікатів чи агресивного очищення.
Якщо у вашому заводі є багато хімічних пар, вам знадобиться захисний кварцовий екран. Це можна уявити як „дощовик“ для відбивачів. Без нього забруднювачі осідають на золоті покриття, що знижує їх ефективність. У такому разі вам доведеться збільшувати потужність, щоб повернутися до початкового рівня.
Як це можна використати на вашому заводі
Заміна відбивачів на ті, що покриті золотом, є простим способом зменшити загальне споживання енергії, не втрачаючи при цьому ефективності сушіння. Крім того, це також допомагає полегшити роботу систем охолодження на вашому заводі.
Якщо ви не впевнені, як це зробити, можливо, варто перевірити ваші відбивачі. Можливо, ви з’ясуєте, що ваші поточні відбивачі просто поглинають енергію, яка мала б використовуватися для сушіння пластин.

Нагрівач для сушіння пластин датчиків типу MEMS

Fri, 24 Jul 2026 09:26:24 +0800

Як запобігти надмірній вологості на пластинах MEMS без проблем
Під час виробництва датчиків типу MEMS останнє, чого хочеться, – це щоб крапля вологи чи слід розчинника зіпсували все. Але ось у чому проблема: потрібно повністю висушити ці пластини, не пошкодивши матеріал та не дозволяючи забруднювачам потрапити всередину.

Саме тому ми використовуємо нагрівачі на коротких хвилях інфрачервоного випромінювання. Замість того, щоб нагрівати всю кімнату – що є марною тратою часу та енергії – інфрачервоне випромінювання передає енергію безпосередньо на поверхню пластини. Це ефективно та економічно.

Нагрівач для сушіння пластин з мікро LED

Sat, 27 Jun 2026 01:43:48 +0800

Подивіться, як пластина з технологією Micro LED виходить з процесу останнього промивання та залишається на місці, чекаючи на висихання. На виробничій лінії все може піти не так швидко. Якщо нагрівач відхилиться хоча б на кілька десятих градуса, то на краях пластини будуть утворюватися краплі, а контури фотополімеру стануть менш чіткими. Це призведе до зниження якості продукції ще до початку процесу літографії. Ми створили нагрівач для висихання пластин з технологією Micro LED, щоб усунути ці проблеми.

Інфрачервоне випромінювання проти конвекції для сушіння пластин

Wed, 24 Jun 2026 01:17:17 +0800

На виробничій лінії теплові похибки не є чимось, з чим можна домовитися. Навіть незначне зміщення температури у розмірі 0,5°C під час процедури нагрівання фоторезисту може призвести до порушення критичних розмірів виробу. Крім того, невелика кількість залишкової вологи після чищення може стати причиною проблем у наступному етапі літографії. Конвекційні печі допомагають боротися з тепловими затримками та неоднорідністю температури всередині печі. Інфрачервоне випромінювання також може бути ефективним засобом, але лише за умови, що його використання буде супроводжуватися суворим контролем параметрів, а не просто нагріванням.