http://radiant-ir-heater.com/uk/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D0%BF%D0%BE%D0%BB%D1%96%D0%BC%D0%B5%D1%80/ Recent content in Фотополімер on Radiant Infrared Heating Hugo uk Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/uk/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/uk/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Ефективна обробка фотополімеру за допомогою інфрачервоного випромінювання"></p> <p>На верстаті для літографії достатньо лише 0,5°C відхилення температури під час процесу обробки, щоб зіпсувати цілий комплект виробів. Процес „м’якої“ обробки полягає у чистому видаленні розчинника; процес „жорсткої“ обробки призводить до фіксації потрібного профілю температури. Коли температурна однорідність порушується, контроль параметрів CD стає неможливим, а кількість частинок зростає.</p> <p><strong>Що ми створили та чому це важливо</strong><br> Ми використали модуль обробки разом із випромінювачами короткохвильового ІЧ-світла та системою терморегуляції на основі кварцу. Це дозволяє досягти однорідності температури на рівні ±0,1°C по всій поверхні плати, а також забезпечує стабільність параметрів протягом усього часу роботи. Цей модуль підходить для використання в чистих приміщеннях класів від 1 до 100, крім того, під час обробки не утворюється частинок. Температурний профіль залишається стабільним завдяки точному дотриманню параметрів процесу.</p>