http://radiant-ir-heater.com/uk/tags/bake/ Recent content in Bake on Radiant Infrared Heating Hugo uk Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/uk/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ Thu, 18 Jun 2026 01:20:34 +0800 http://radiant-ir-heater.com/uk/posts/effective-photoresist-bake-with-ir/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Ефективна обробка фотополімеру за допомогою інфрачервоного випромінювання"></p> <p>На верстаті для літографії достатньо лише 0,5°C відхилення температури під час процесу обробки, щоб зіпсувати цілий комплект виробів. Процес „м’якої“ обробки полягає у чистому видаленні розчинника; процес „жорсткої“ обробки призводить до фіксації потрібного профілю температури. Коли температурна однорідність порушується, контроль параметрів CD стає неможливим, а кількість частинок зростає.</p> <p><strong>Що ми створили та чому це важливо</strong><br> Ми використали модуль обробки разом із випромінювачами короткохвильового ІЧ-світла та системою терморегуляції на основі кварцу. Це дозволяє досягти однорідності температури на рівні ±0,1°C по всій поверхні плати, а також забезпечує стабільність параметрів протягом усього часу роботи. Цей модуль підходить для використання в чистих приміщеннях класів від 1 до 100, крім того, під час обробки не утворюється частинок. Температурний профіль залишається стабільним завдяки точному дотриманню параметрів процесу.</p> http://radiant-ir-heater.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:58 +0800 http://radiant-ir-heater.com/uk/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://radiant-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Лампа для випікання спін котера"></p> <p>На литографічному поверсі випікання — це не пауза, а лінія, яку не можна переступати. Soft bake видаляє розчинник з фотошаблону. Hard bake фіксує маску перед травленням. Якщо лампа починає зсуватися, це швидко позначається на якості: нерівномірний критичний розмір, «крайова кромка» та залишки після проявлення. Саме тому існує лампа для випікання на спін-котерах — щоб усунути теплові припущення з процесу.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong><br> Ми побудували лампу для випікання на короткохвильовому інфрачервоному випромінюванні в кварцовому корпусі, оскільки вона миттєво передає енергію безпосередньо в шар фотошаблону. Результат — термальна однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C по всьому діаметру покриття, а також відтворюваність між партіями. Час реакції — менше секунди, тому тепловий бюджет суворо контролюється, а профіль випікання точно відповідає рецепту без перерізів. Лампа працює у чистих приміщеннях класу 1–100 і спроектована так, щоб не виділяти частинок — адже в цій галузі кожен аерозольний дефект знижує вихід продукції.</p>