MEMS ویفرز کو بغیر کسی پریشانی کے خشک کرنا
جب MEMS سینسرز تیار کئے جاتے ہیں، تو آخری چیز جسے روکنا ضروری ہے، وہ ہے نمی کے قطرے یا کسی محلول کے داغ جو پورے عمل کو برباد کر سکتے ہیں۔ لیکن مشکل یہ ہے کہ ان ویفرز کو بغیر کسی دباؤ کے، اور بغیر کسی غیرخالص مادہ کے داخل ہونے کے، مکمل طور پر خشک کرنا ضروری ہے۔
اسی لئے ہم شارٹ-ویو انفراریڈ (IR) ہیٹرز استعمال کرتے ہیں۔ پورے کمرے کو گرم کرنے کی کوشش کرنے کے بجائے، IR توانائی کو براہِ راست ویفر کی سطح پر بھیجتا ہے۔ یہ طریقہ بہت مؤثر ہے۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟
روایتی کنویکشن اوونوں کے بارے میں سوچیں… وہ اپنی آدھی توانائی صرف ہوا کو گرم کرنے میں خرچ کرتے ہیں۔ یہ غیرموثر طریقہ ہے۔ IR کے برعکس، یہ فوٹونز بھیجتا ہے جن کی وجہ سے پانی کے مولیکیول حرکت کرتے ہیں، جس سے پانی تیزی سے بخارات بن جاتا ہے۔
چونکہ حرارت بہت درست طریقے سے پہنچتی ہے، اس لئے آلے کا سائز بہت بڑا ہونے کی ضرورت نہیں ہے۔ اس کے علاوہ، چونکہ صنعت VOCs اور زیادہ توانائی استعمال کرنے والے طریقوں سے دور جا رہی ہے، لہذا IR ہی بہترین حل ہے۔ آپ کو کیمیائی کیٹالسٹ یا بڑے ایئر فلو سسٹموں کی ضرورت نہیں ہے، کیونکہ ان سے غیرخالص مادے داخل ہو سکتے ہیں۔
توازن قائم کرنا
اب، یہ صرف حرارت کو بڑھانے کا معاملہ نہیں ہے… ہمیں درجہ حرارت کو بھی بہت احتیاط سے کنٹرول کرنا ہے۔
ہائی-انٹینسٹی لیمپ، عمل کو تیز کرنے میں مددگار ثابت ہوتے ہیں، لیکن ان میں ایک مشکل یہ ہے کہ اگر لیمپ کی جگہ مناسب نہ ہو، یا پاور کنٹرول درست نہ ہو، تو ویفر پر “گرم نقاط” پیدا ہو جاتے ہیں۔ 300 ملی میٹر والے ویفر پر، یہ بہت خطرناک ہے، کیونکہ اس سے MEMS ساختیں خراب ہو سکتی ہیں۔
اس سے بچنے کے لئے، ہم ہیٹرز کے ساتھ درست PID کنٹرولرز استعمال کرتے ہیں۔ ہم عموماً ویکیوم یا نیوٹرل گیس کا استعمال بھی کرتے ہیں، تاکہ ویفر آکسیڈائز نہ ہو۔ یہ سب کنٹرول کا معاملہ ہے۔
اپنی لائن کے لئے مناسب بنانا
ہم نے یہ سسٹم ایسے ہی بنائے ہیں کہ یہ پرانے، بھاری تھرمل اوونوں کا آسان متبادل بن سکیں۔
ہم کوارٹز کے آؤٹر ہیںڈس استعمال کرتے ہیں، تاکہ دھاتی آئن ویفر پر نہ پہنچ سکیں۔ وائرنگ بھی بہت بہترین ہے… سسٹم چند ملی سیکنڈوں میں چالو/بند ہو سکتا ہے، جس سے آپ کو ویفر کے درجہ حرارت کے بارے میں فکر کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
اور جب لیمپ خراب ہو جاتا ہے؟ آپ کو پورے ڈرائنگ سسٹم کو توڑنے کی ضرورت نہیں ہے… بس ماڈیول کو تبدیل کر دیں، اور پھر کام شروع کریں۔