Trên sàn lithography, thời gian không bao giờ là đồng minh của bạn. Một quá trình soft bake lệch 2°C cũng làm sai lệch tốc độ bay hơi dung môi, thay...

Trên sàn sản xuất, dây chuyền đang hoạt động. Các buồng lithography đang đưa wafer qua các giai đoạn soft bake và hard bake, và các điểm đặt nhiệt độ...