Wafer on Radiant Infrared Heating

Cảm biến hồng ngoại độ chính xác dành cho wafer

Sat, 25 Jul 2026 02:32:29 +0800

Ngừng việc làm nóng không khí: Cách hiệu quả hơn để xử lý các tấm wafer
Hãy cùng nói về những lò nung truyền thống. Chúng hoạt động được, nhưng về cơ bản chúng chỉ là những thiết bị sưởi ấm khổng lồ mà thôi. Bạn phải chi rất nhiều tiền để làm nóng toàn bộ buồng nung và không khí bên trong, chỉ để nâng nhiệt độ của các tấm wafer lên mức mong muốn. Đó thật là lãng phí.

Bộ sưởi tấm mỏng tiết kiệm năng lượng

Fri, 24 Jul 2026 09:48:14 +0800

Giữ cho môi trường sạch dạng Class 100 luôn sạch sẽ

Khi hâm nóng các tấm wafer bán dẫn, bạn không thể chỉ quan tâm đến bộ điều nhiệt thôi. Trong môi trường dạng Class 100, ngay cả một hạt bụi nhỏ từ bộ phận gia nhiệt cũng có thể phá hủy toàn bộ sản phẩm được xử lý. Đó thực sự là một tình huống tồi tệ.

Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao để chế tạo các bóng đèn IR. Thủy tinh thông thường hoặc loại thủy tinh rẻ tiền thì không thể sử dụng được. Chúng dễ bị phân hủy hoặc tạo ra các hạt bụi khi bị nung nóng; bạn chắc chắn không muốn những hạt bụi này bám vào các tấm wafer của mình.

Bộ sấy tấm cảm biến MEMS

Fri, 24 Jul 2026 09:26:24 +0800

Làm thế nào để làm khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả mà không gây ra bất kỳ vấn đề gì?

Khi chế tạo các cảm biến MEMS, điều cuối cùng mà chúng ta muốn tránh chính là sự xuất hiện của những giọt nước hoặc dấu vết của chất dung môi, vì chúng có thể phá hỏng sản phẩm của chúng ta. Nhưng điều khó khăn là chúng ta cần phải làm khô các tấm wafer một cách triệt để, mà không làm tổn hại đến chất liệu của chúng hay để cho các chất gây ô nhiễm xâm nhập vào.

Cảm biến nhiệt độ dùng cho dụng cụ xử lý wafer

Thu, 23 Jul 2026 09:47:55 +0800

Chúng tôi kiểm tra từng chiếc cảm biến một. Không có ngoại lệ nào cả.
Trong ngành sản xuất wafer, chỉ cần có một sự rò rỉ điện nhỏ thôi cũng đủ để làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm silicon. Đó là điều kinh khủng mà không ai muốn xảy ra.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không áp dụng phương pháp lấy mẫu ngẫu nhiên. Chúng tôi kiểm tra từng chiếc cảm biến một, chứ không chỉ kiểm tra vài chiếc rồi hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Mỗi chiếc cảm biến rời khỏi xưởng của chúng tôi đều phải trải qua các bài kiểm tra độ bền điện áp và khả năng cách điện 100%. Tất cả các chiếc cảm biến đều được kiểm tra kỹ lưỡng như vậy.

Khoảng cách an toàn khi làm nóng wafer

Fri, 17 Jul 2026 02:13:02 +0800

Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng: Tại sao các bộ phản xạ bằng vàng lại quan trọng đến vậy?

Khi bạn sưởi ấm các tấm silic, mục tiêu không chỉ là tăng cường công suất năng lượng, mà còn là đảm bảo rằng năng lượng được chuyển trực tiếp vào tấm silic, chứ không phải chỉ làm nóng không khí xung quanh.

Các bóng đèn thạch anh thông thường gây ra tình trạng lãng phí nhiệt lượng – chúng tỏa nhiệt ra mọi hướng. Đó chính là lý do tại sao các bộ phản xạ bằng vàng lại được sử dụng. Chúng hoạt động như những tấm gương, giúp chiếu trực tiếp năng lượng vào tấm silic.

Bộ phản xạ ánh sáng cho đèn sấy wafer

Sat, 11 Jul 2026 05:18:04 +0800

Tại sao chúng tôi lại chú trọng đến việc kiểm tra điện áp của các thiết bị sử dụng trong quá trình xử lý wafer?
Các thiết bị dùng để xử lý wafer phải chịu áp lực cực lớn từ nhiệt độ cao và điện áp lớn. Trong ngành này, không có khái niệm “sai sót nhỏ” nào cả. Chỉ cần có một rò rỉ điện nhỏ thôi cũng đủ khiến bộ điều khiển hỏng hoặc làm hỏng toàn bộ số wafer silic đang được xử lý.

Máy sấy wafer Micro LED

Sat, 27 Jun 2026 01:43:48 +0800

Hãy quan sát việc tấm wafer Micro LED được rửa sạch và để yên ở đó, chờ khô. Trong quá trình sản xuất, mọi thứ có thể diễn ra nhanh chóng. Nếu nhiệt độ không được kiểm soát chính xác, các giọt chất lỏng sẽ còn tồn tại trên bề mặt wafer, các họa tiết trên bề mặt wafer sẽ bị biến dạng, và chất lượng sản phẩm sẽ giảm sút ngay từ đầu quá trình sản xuất. Chúng tôi đã thiết kế máy sấy dành cho tấm wafer Micro LED nhằm loại bỏ những yếu tố gây biến động này.

Sử dụng tia hồng ngoại hay phương pháp đối lưu để sấy wafer

Wed, 24 Jun 2026 01:17:17 +0800

Trong quy trình sản xuất, sai số nhiệt độ không phải là thứ có thể được điều chỉnh thông qua các giá trị chấp nhận được. Chỉ cần sự chênh lệch nhiệt độ 0,5°C trong quá trình xử lý bằng tia cực tím cũng đủ để làm sai lệch các kích thước quan trọng của wafer. Ngoài ra, một lượng hơi ẩm nhỏ còn sót lại sau khi vệ sinh wafer cũng có thể gây ra vấn đề trong các công đoạn tiếp theo. Lò sưởi kiểu đối lưu giúp giảm thiểu sự chênh lệch nhiệt độ và các gradient nhiệt độ xảy ra trong quá trình xử lý. Tia hồng ngoại cũng là giải pháp hiệu quả, nhưng chỉ khi nó được thiết kế một cách chuẩn xác, dựa trên nguyên lý của công nghệ bán dẫn, chứ không chỉ dựa vào yếu tố nhiệt độ.

Lò sưởi hồng ngoại dùng sau khi vệ sinh wafer

Tue, 23 Jun 2026 13:22:11 +0800

Trong quá trình sản xuất, một lượng hơi ẩm nhỏ còn sót lại sau khi làm sạch, cùng với sự phát triển trở lại của lớp oxit tự nhiên trên bề mặt wafer, có thể làm giảm khả năng bám dính của chất phủ quang học. Chỉ cần một điểm nóng nhỏ thôi cũng đủ khiến quy trình xử lý wafer bị sai lệch. Những hậu quả của việc này là sự suy giảm chất lượng wafer sau khi gia công, hoặc xuất hiện các vấn đề liên quan đến cấu trúc bề mặt wafer trong quá trình in ấn. Chúng tôi đã thiết kế máy sưởi bằng tia hồng ngoại để loại bỏ những yếu tố gây ổn định không tốt này.

Máy sưởi hồng ngoại sóng trung cho wafer

Sun, 31 May 2026 02:41:23 +0800

Trên sàn sản xuất, dây chuyền đang hoạt động. Các buồng lithography đang đưa wafer qua các giai đoạn soft bake và hard bake, và các điểm đặt nhiệt độ được cố định. Chênh lệch vài độ trên bề mặt wafer, điểm lạnh gần mép, hoặc bộ gia nhiệt quá tải có thể âm thầm làm giảm tỷ lệ thành phẩm. Bạn không chỉ mất chi phí do wafer bị loại bỏ mà còn mất công suất sản xuất, phải dừng máy khẩn cấp để bảo trì, và tiêu chuẩn hồ quang photoresist bị lệch khỏi quy tắc thiết kế.