
为什么黄金对您的红外系统如此重要?
如果您在加热硅晶圆时浪费了电能,那显然存在设计上的问题。大多数普通反射器只是将能量散射到各个方向。而我们则采用不同的方法——在无臭氧的红外灯中使用镀金反射器,这样就能确保能量直接照射到晶圆上,而非让机器内部过热。
黄金的优势 实际上,黄金更擅长反射长波和中等波长的红外线。虽然铝材成本较低,但它的反射精度不足以满足高密度加工的需求。 我们的镀金层可以减少能量吸收损失,让更多的光子准确到达目标位置。这样一来,就能实现更精准的聚焦效果,同时让晶圆表面的温度更加均匀,不会出现局部过热的情况。
防止臭氧生成 此外,我们还会过滤掉那些可能产生臭氧的波长。这无疑有助于保持洁净室的清洁环境。同时,它还能避免晶圆上那些敏感的有机层被破坏。这样,您就可以在不需要担心空气中有有害物质的情况下,使用高功率的红外灯。
难题:精确对齐 不过,这里有个问题:必须确保各部件的精确对齐。因为镀金层能让光线高度集中,哪怕只有几毫米的偏差,就可能导致晶圆某处过热。因此,必须确保安装支架非常稳固,没有任何移动空间。 另外,这类高反射率系统会将大量热量集中在灯体内。如果为了提高工作效率而增加功率,那么冷却装置必须足够强大才能应对这种情况。否则,灯丝很快就会烧毁。 我们设计的这些产品,正是为那些无法承受设备停机时间过长的环境而准备的。只要使用合适的电压调节器来防止灯丝过热,那么这些镀金反射器就能持续工作数千次。