如何让MEMS晶圆在干燥过程中不受损害？
在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留，因为这些会毁掉整个生产过程。不过，问题在于：我们必须在不损害材料、也不让杂质进入的情况下，将晶圆彻底干燥。
因此，我们使用短波红外线加热器。与试图加热整个房间不同——那样既浪费时间又浪费能源——红外线可以直接将能量传递到晶圆表面。这种方法更高效、更干净。
为什么这种方法有效？
想象一下传统的对流式烤箱：它需要消耗大量能量来加热空气，效率很低。而红外线则不同，它通过光子使水分子振动，从而加速水分蒸发。由于热量是精准施加的，所以设备无需很大。此外，随着工业界逐渐摒弃那些耗能高的技术，红外线显然是一种更好的选择。无需使用化学催化剂，也无需那些容易泄漏杂质的庞大风系统。
平衡之道
当然，仅仅提高温度是不够的。我们还必须小心控制温度的变化速率。高强度的灯光虽然能加快干燥速度，但如果灯具的位置不当或功率控制不准确，就容易出现局部过热的情况。对于300毫米的晶圆来说，这可能会导致其结构变形甚至损坏。为避免这种情况，我们会为加热器配备精确的PID控制器。同时，我们还会使用真空环境或惰性气体来防止晶圆氧化。一切都需要精确控制。
让系统适配您的生产线
我们设计的这些系统，可以轻松替换那些陈旧的加热装置。我们使用石英外壳来防止金属离子附着在晶圆上。电路连接也非常简洁，系统可以在几毫秒内启动或关闭，这样就不会因温度过高而破坏晶圆。一旦某个灯泡损坏，也无需拆掉整个干燥系统，只需更换该模块即可继续工作。