洁净室烤箱红外加热器

防止碎片飞溅：在红外加热器出现故障时保持晶圆洁净 说实话，在晶圆加工过程中，一旦某个加热灯发生故障，整个生产流程都会受到严重影响，甚至导致整批硅晶圆报废。 在高速生产环境下，红外加热灯的负荷极大。如果石英管发生损坏，那可不是什么悄无声息的故障——它会引发一片混乱，玻璃碎片和灰尘会四处飞散，导致需要...