红外线灯用铝制反射器

在光刻工艺中，温度控制至关重要。在光刻胶烘烤过程中，即使只是让晶圆发生半度的偏移，也足以让原本稳定的工艺变得难以控制。我们之所以要严格把控低温烘烤和高温烘烤的条件，是因为温度的均匀性直接决定了线宽的精度。而这种控制从红外灯系统开始。 真正重要的因素是什么？ 我们选择铝制反射器，是为了确保其能够提供...