في أرضية المصنع، فإن الرطوبة الناتجة بعد عملية التنظيف، بالإضافة إلى نمو الأكسيدات الطبيعية على سطح الرقاقة، يمكن أن يؤثرا سلبًا على قوة التصاق مادة الفوتوريزيست مع الرقاقة، دون أن تلاحظ ذلك. وبمجرد حدوث اختلافات في درجة الحرارة، يصبح من الصعب الحفاظ على جودة المنتج النهائي، مثل حدوث مشاكل في تشكيل الخصائص المرغوبة في عملية الطباعة. لذلك، قمنا بتصميم جهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء للتخلص من هذه المشاكل.
ما الذي يهم من الناحية التقنية؟ يستخدم الجهاز أجهزة إرسال للأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، وذلك عبر مسار بصري خالٍ من الكوارتز، وبذلك لا تظهر أي جسيمات على سطح الرقاقة. وهذا يساعد في الحفاظ على درجة الحرارة ضمن النطاق المطلوب للعمل في غرف نظيفة من الفئة 1 إلى 100. كما أن توحيد درجة الحرارة على سطح الرقاقة يظل ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مما يساعد في الحفاظ على جودة مادة الفوتوريزيست على مر الزمن. كما أن الاستجابة سريعة، مما يسمح بضبط درجة الحرارة بدقة دون تجاوز الحدود المسموح بها. يمكن للجهاز التعامل مع طرق التسخين المختلفة، سواء كانت طرقًا للتسخين الخفيف أو الشديد، كما يمكن دمجه في أنظمة التجفيف الموجودة في المصنع.
لماذا يعمل الجهاز في الواقع؟ بعد عملية التنظيف والشطف، يقوم الجهاز بتجفيف السطح وتهيئته على الفور، مما يساعد في استقرار الرقاقة قبل استخدام مادة الفوتوريزيست. كما أن التحكم الدقيق في درجة الحرارة يساعد في الحفاظ على توحيد سمك مادة الفوتوريزيست، ويقلل من التباينات في الحواف، وهو أمر مهم عند استخدام رقاقات ذات دقة عالية. كما أن استهلاك الطاقة يقل، لأن الحرارة تصل مباشرة إلى الرقاقة مع أقل قدر ممكن من الحرارة الزائدة. كما أن الجهاز يعمل بشكل مستمر، بفضل تصميمه الفعال وقابليته للصيانة، مما يساعد في تجنب التوقفات غير المخطط لها.
ما الذي يجب أخذه في الاعتبار؟ يحتاج الجهاز إلى مصدر طاقة مستقر ونظام تبريد فعال للحفاظ على استقرار درجة الحرارة. كما أن تدفق الهواء المنتظم ونظافة أجزاء الجهاز ضروريان لضمان أداء جيد. كما أن معايير التركيب صارمة، ويجب أن يتناسب حجم الجهاز مع واجهات الأجهزة الأخرى في المصنع. يجب إجراء اختبارات قصيرة لضبط معدلات التسخين حسب نوع مادة الفوتوريزيست المستخدمة، ثم تثبيت الإعدادات المناسبة.