লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ফটোরেসিস্ট বেক করার সময় ওয়েফারটি অর্ধ-ডিগ্রি পর্যন্ত নড়ে গেলেই স্থিতিশীল প্রক্রিয়াটি জটিল হয়ে যায়। তাই সঠিক তাপমাত্রা বজায় রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। কারণ তাপমাত্রার একঘেয়েমির উপরই ওয়েফারের আকার নির্ভর করে। আর এই নিয়ন্ত্রণটি শুরু হয় IR ল্যাম্প সিস্টেম থেকেই।
IR ল্যাম্পগুলোর জন্য অ্যালুমিনিয়াম রিফ্লেক্টর ব্যবহার করা হয়; কারণ এটা নির্দিষ্ট ও স্থিতিশীল তাপ সরবরাহ করে। এর জ্যামিতিক গঠন এমনভাবে করা হয়েছে যাতে আলোটি ওয়েফারের উপর সমানভাবে পড়ে, এবং তাপমাত্রার তারতম্য মাত্র ±0.1°C হয়। ওয়েফারটি প্যাসিভেটেড ও সিলড অবস্থায় থাকে; ফলে এটি ক্লাস 1–100 ধরনের ক্লিনরুমেও ব্যবহার করা যায়।
কণা উৎপাদন শূন্যে থাকে; কারণ রিফ্লেক্টরটি বন্ধনযুক্ত ও অবিচ্ছিন্ন অবস্থায় থাকে। ফলে তাপ নির্গমন নিয়ন্ত্রিত থাকে, এবং প্রতিবার বেক করার সময় একই ফলাফল পাওয়া যায়।
ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় এটি কেন কার্যকর?
এই রিফ্লেক্টরটি তাপ নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে ওয়েফারের আকার নির্দিষ্ট সীমার মধ্যে থাকে। তাপমাত্রার একঘেয়েমি কমে যাওয়ায় অযোগ্য ওয়েফারগুলো কমে যায়, এবং প্রক্রিয়াটি দ্রুত সম্পন্ন হয়। ক্লিনরুমে ব্যবহার করার ফলে কণার পরিমাণ কম থাকে; ফলে রেটিকল ও ওয়েফার সুরক্ষিত থাকে।
উপকরণগুলোর নির্ভরযোগ্যতা:
রিফ্লেক্টরটি 5,000+ ঘণ্টা ধরে স্থিতিশীল অবস্থায় থাকে; ফলে কোনো সমস্যা হয় না। শক্তি ব্যবহারও কম হয়; কারণ জ্যামিতিক গঠনের কারণে তাপটি সঠিক জায়গায় পড়ে।
কী ধরনের বিবরণ প্রয়োজন?
রিফ্লেক্টরটি শর্ট-ওয়েভ ও মিডিয়াম-ওয়েভ IR ল্যাম্পগুলোর সাথে কাজ করে। কিন্তু ল্যাম্পের স্পেকট্রাল আউটপুট ও চেম্বারের জ্যামিতিক গঠনকে ফটোরেসিস্টের তাপীয় প্রোফাইলের সাথে মিলিয়ে নিতে হয়। ইনস্টলেশনের সময় নির্দিষ্ট সীমা মেনে চলতে হয়; কারণ অ্যালাইনমেন্ট ও ল্যাম্প-থেকে-রিফ্লেক্টরের দূরত্ব তাপমাত্রার একঘেয়েমিকে প্রভাবিত করে।
ল্যাম্প পরিবর্তনের পর সামান্য সময় ধরে ওয়েফারটিকে তাপে রাখা উচিত। কারণ প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে সম্পন্ন হওয়ার জন্য অ্যাসেম্বলিটিকে সম্পূর্ণরূপে স্থিতিশীল হতে দেওয়া প্রয়োজন।