দেখুন, মাইক্রো LED ওয়েফারটি চূড়ান্ত ধোয়ার প্রক্রিয়া শেষ করে সেখানেই রয়েছে; এখন এটি শুকানোর অপেক্ষায় আছে। উৎপাদন লাইনে জিনিসগুলো কত দ্রুত বিঘ্নিত হতে পারে, তা আপনি জানেন। যদি হিটারটি কয়েক দশমিক অঙ্ক পরিমাণ বিচ্যুত হয়, তাহলে ওয়েফারের কিনারায় অবস্থিত কণাগুলো ঝুলে থাকবে; ফটোরেজিস্ট প্যাটার্নগুলো নরম হয়ে যাবে; আর লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া শুরু হওয়ার আগেই উৎপাদন প্রক্রিয়া ব্যাহত হবে। এই ধরনের সমস্যাগুলো দূর করার জন্যই আমরা মাইক্রো LED ওয়েফার শুকানোর জন্য হিটারটি তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই হিটারটি কোয়ার্টজ উইন্ডোর পিছনে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদান ব্যবহার করে কাজ করে; ফলে দ্রুত উত্তপ্তি ঘটে এবং দ্রুতই ঠান্ডা হয়ে যায়। ওয়েফারের উপরিভাগের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যেই থাকে। এর ফলে ওয়েফারের কিনারায় থাকা কণাগুলো সহজেই ভেঙে যায়; আর ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াগুলো প্রতিবারই একইভাবে চলে।
এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর জন্যই তৈরি করা হয়েছে—কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদান এবং এমন বায়ুপ্রবাহ ব্যবস্থা যা কণাগুলোকে নড়তে দেয় না। আমরা কোনো স্লোগান অনুসরণ করি না; আমরা শূন্য কণা উৎপাদনের লক্ষ্য রাখি। এই হিটারটি ট্র্যাক টুলস ও স্ট্যান্ড-আলোন ড্রায়িং সেলগুলোতে ব্যবহার করা যায়; এতে স্ট্যান্ডার্ড ভোল্টেজ ব্যবস্থা রয়েছে, আর এর আকার রোবোটিক্স ও মেট্রোলজির জন্য যথেষ্ট।
কেন এটি মাইক্রো LED উৎপাদনের জন্য উপযুক্ত?
মাইক্রো LED-এ তাপীয় নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ; কোনো ধরনের দূষণ সহ্য করা যায় না। এই হিটারটি নরম/কঠিন উভয় ধরনের উত্তপ্তি প্রক্রিয়াতেই তাপমাত্রাকে স্থিতিশীল রাখে; ফলে তাপীয় অসমতার কারণে কোনো সমস্যা হয় না। যখন উত্তপ্তি প্রক্রিয়াটি নিয়মিতভাবে চলে, তখন উৎপাদন প্রক্রিয়া দ্রুত সম্পন্ন হয় এবং অপ্রয়োজনীয় কণাগুলো কমে যায়।
শক্তি ব্যবহার কমে যায়, কারণ এই সিস্টেমটি শুধুমাত্র নির্দিষ্ট এলাকাকেই উত্তপ্ত করে এবং দ্রুতই চক্র সম্পন্ন করে। এটি ২৪/৭ কাজ করার জন্যই তৈরি করা হয়েছে—দীর্ঘ জীবনকাল ও নির্ভরযোগ্য রক্ষণাবেক্ষণের জন্যই উপযুক্ত উপাদানগুলো ব্যবহার করা হয়েছে; ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধ থাকার সমস্যা দূর হয়।
কিছু গুরুত্বপূর্ণ তথ্য:
যখন এক্সহস্ট পাথটি টুলের ডাক্টিং সিস্টেমের সাথে মেলে, তখনই সর্বোত্তম কর্মক্ষমতা পাওয়া যায়। যদি ব্যাকপ্রেশার ঠিক না থাকে, তাহলে প্রক্রিয়াটি ধীর হয়ে যায় এবং কণাগুলোর কর্মক্ষমতা কমে যায়। ইনস্টলেশনের সময় চাকের আকার ও কানেক্টর ইন্টারফেসটি আপনার নির্দিষ্ট ট্র্যাক/ড্রায়িং সেলের সাথে মেলানো প্রয়োজন।
আপনার সলভেন্ট মিশ্রণ ও ওয়েফারের আকার অনুযায়ী কনফিগারেশন ঠিক করতে কিছুটা সময় লাগে। একবার এটি ঠিক হয়ে গেলে, উৎপাদন প্রক্রিয়াটি নির্বিঘ্নে চলতে থাকে।