V procesu litografie nejeví sebemenší odchylka 0,5 °C při zahřívání „měkkým“ nebo „tvrdým“ způsobem jako „malá odchylka“. Jedná se o ztrátu kvality výrobku – to je jasně vidět na grafu rovnoměrnosti CD a také na hromadě odpadků. Infračervené ohřívače používané při nanášení a odstraňování fotorezistu musí udržovat termální stabilitu v souladu s optickými prvkami a samotným fotorezistem.
Tento ohřívač jsme navrhli s ohledem na kontrolu na úrovni destičky. Sada emitorů v infračerveném spektru přenáší energii přímo do destičky, takže dosahuje rychlých změn teploty bez narušení termální rovnováhy komory. Rovnoměrnost teploty na povrchu destičky zůstává v rozmezí ±0,1 °C – to znamená, že okrajové části destičky mají stejné podmínky zahřívání jako její střední část.
Hardwarové komponenty jsou vhodné pro použití v čistých prostorách: prvky jsou uzavřeny v kvartzových obalech a konstrukce minimalizuje uvolňování plynů, což umožňuje použití v prostředích třídy 1–100. Částice zůstávají tam, kam patří, díky hermeticky uzavřeným spojům a kanálům pro proudění vzduchu, které zabránějí dostání nečistot do filmu. Opakovatelnost výsledků je zajištěna díky řízení na úrovni povrchu destičky, nikoliv odhadováním parametrů ohřívače.
V procesech nanášení a odstraňování fotorezistu představují čas a teplota problém. Infračervený ohřívač zkracuje dobu zahřívání bez narušení termální rovnováhy, takže lze provádět rychlejší cykly a přitom zachovat kontrolu nad klíčovými rozměry. Profily fotorezistu zůstávají konzistentní mezi jednotlivými sériemi, což znamená méně oprav a úprav masek.
To také pomáhá snížit náklady na energii. Protože energie putuje přímo do destičky, snižuje se množství energie spotřebované zbytečně v rámu zařízení. Spolehlivost se v praxi projevuje delší dobou provozu: systém funguje 24/7 s předvídatelnými intervaly údržby, takže nehrozí náhlé výpadky, které by narušily proces výroby destiček.
Instalace spočívá v detailních úpravách: je potřeba zajistit správné připojení zařízení a poté ověřit elektrické a chladicí parametry. Ohřívač vyžaduje čistý, suchý vzduch a stabilní napětí; pokles napětí může způsobit zpoždění při rychlých procesech.
Dodáváme kalibrační sady a šablony pro běžné typy fotorezistů, ale finální úpravy musí být provedeny na základě vašich měřicích a kalitačních postupů.