Sledujte, jak čip s Micro LED opouští zónu konečného oplachování a zůstává tam, dokud nevyschne. V továrních linkách víte, jak rychle se věci mohou pokazit. Pokud se teplota ohřívače posune i o pár desetin stupně, objeví se kapky na okrajích čipu, vzory fotoresistentu se změní a kvalita výrobku se zhorší ještě předtím, než začne samotná litografie. Vytvořili jsme ohřívač na sušení čipů s Micro LED právě proto, abychom eliminovali tyto variability.
Co je důležité uvnitř zařízení
Zařízení využívá krátkovlnné infračervené prvky za křemennými skly – díky tomu dochází k rychlému ohřevu a také k rychlému ochlazení. Rozptyl teploty na povrchu čipu zůstává na úrovni ±0,1 °C. To umožňuje čisté odstranění kapek na okrajích čipu a zajišťuje konzistentnost parametrů fotoresistentu během jednotlivých cyklů.
Zařízení je určeno pro prostředí třídy 1–100 – používají se materiály s nízkým uvolňováním prachových částic a tok vzduchu nevyvolává pohyb částic. Nesnažíme se dosáhnout jen reklamních sloganů – chceme dosáhnout nulové produkce prachových částic. Ohřívač lze použít v rámci různých zařízení a samostatných sušicích jednotek – s možností použití standardního napětí a s velikostí, která umožňuje integraci s robotickými systémy a měřicími zařízeními.
Proč se hodí do výroby Micro LED
U Micro LED je termální rozpočet velmi omezený a není žádný prostor na kontaminaci. Tento sušič udržuje stabilní teplotu během celého procesu sušení, takže nedochází ke změnám ve vlastnostech čipu způsobených termickou nerovnoměrností. Když je proces sušení konzistentní, zkracují se doby kalibrace a snižuje se množství odpadu.
Spotřeba energie klesá, protože systém ohřívá pouze cílovou oblast a rychle přechází mezi jednotlivými pracovními režimy. Spolehlivost zařízení je zajištěna díky komponentům s dlouhou životností a předvídatelnými intervaly údržby – takže nedochází k neplánovaným výpadkům.
Několik poznámek k použití
Nejlepší výkon dosáhnete tehdy, když cesta odvodu vzduchu odpovídá ventilačním kanálům zařízení. Nesoulad mezi tlakem vzduchu může vést k delší době ustálení teploty a negativně ovlivnit výkon zařízení. Při instalaci je potřeba zajistit shodu velikosti čepu a konektorů s konkrétní platformou zařízení.
Je potřeba krátký čas na kalibraci – aby byla nastavena správná kombinace rozpouštědel a velikost čipu. Jakmile je to zařízeno, proces může probíhat bez přerušení.