Im Bereich der Lithografie ist eine Abweichung von 0,5 °C während des Weich- oder Hartbrennvorgangs keine „kleine Abweichung“. Es handelt sich dabei um einen Verlust an Ertrag – das ist deutlich anhand der CD-Gleichmäßigkeitsgrafiken sowie der Menge an Ausschussprodukten zu erkennen. Die Infrarotheizer für die Beschichtung bzw. Entwicklung müssen eine thermische Stabilität aufweisen, die mit der Optik und dem Fotolack übereinstimmt.
Wir haben diesen Heizer so konstruiert, dass er eine Steuerung auf Wafer-Ebene ermöglicht. Der NIR-Strahler leitet die Energie direkt in den Wafer – dadurch werden schnelle Temperaturänderungen erreicht, ohne dass die thermischen Bedingungen im Behälter gestört werden. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur auf der Waferoberfläche bleibt dabei bei ±0,1 °C – das bedeutet, dass auch die Randbereiche des Wafers denselben Brennvorgang durchlaufen wie die Mitte des Wafers.
Die Hardware ist für saubere Produktionsumgebungen geeignet: Die Komponenten sind in Quarzkästen untergebracht, und die Konstruktion sorgt dafür, dass nur minimale Mengen an Gasen entweichen – somit eignet sich die Anlage für Umgebungen der Klassen 1–100. Durch versiegelte Verbindungen und Luftströmungswege bleiben Staubpartikel außerhalb des Wafers. Die Wiederholgenauigkeit wird durch eine geschlossene Regelungsschleife auf der Waferoberfläche erreicht – nicht durch Schätzungen bezüglich des Heizers.
In den Beschichtungs- und Entwicklungsprozessen spielen Zeit und Temperatur eine wichtige Rolle. Der Infrarotheizer verkürzt die Brenndauer, ohne dass es zu thermischen Überschüssen kommt. Dadurch können schnellere Prozesse durchgeführt werden, während gleichzeitig die Kontrolle über die entscheidenden Dimensionen gewährleistet bleibt. Die Eigenschaften des Fotolacks bleiben dabei von Charge zu Charge konstant – dadurch werden weniger Nacharbeiten sowie Anpassungen der Masken erforderlich.
Außerdem reduziert dies die Energiekosten. Da die Energie direkt in den Wafer geleitet wird, kommt es zu weniger Verschwendung an Energie im Gerät selbst. Die Zuverlässigkeit des Systems besteht darin, dass es 24/7 läuft – mit planbaren Wartungsintervallen. So werden Ausfälle vermieden, die die Produktion beeinträchtigen könnten.
Die Installation hängt von den Details ab: Es muss zunächst die Schnittstelle zum Gerät abgestimmt werden, anschließend muss die elektrische Infrastruktur sowie das Kühlsystem überprüft werden. Der Heizer benötigt saubere, trockene Luft sowie eine stabile Netzspannung. Spannungsabfälle können dazu führen, dass der Prozess etwas langsamer verläuft.
Wir liefern ein Kalibrierungsset sowie Vorlagen für die gängigsten Fotolacksorten. Doch die endgültige Einstellung muss auf der Grundlage Ihrer Mess- und Qualifizierungsdaten erfolgen.