Im Bereich der Lithografie ist eine Abweichung von 0,5 °C während des Weich- oder Hartbrennvorgangs keine „kleine Abweichung“. Es handelt sich dabei...

Auf dem Lithografie-Boden ist das Backen keine Unterbrechung – es ist die klare Grenze. Softbake treibt das Lösungsmittel im Photoresist aus....