Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete IR-Lampen wirklich wichtig sind
Beim Verarbeiten von Halbleiterwafern zählt jeder Watt. Die meisten Standardquarzlampen streuen die Energie in alle Richtungen – also in alle 360 Grad. Doch der Wafer befindet sich nur auf einer Seite. Das bedeutet im Grunde, dass man unnötigerweise den Inneren der Maschine erwärmt.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir eine dünne Schicht aus hochreinem Gold auf die Rückseite der Lampe aufgetragen haben. Gold ist hervorragend darin, Infrarotstrahlung zurückzuspiegeln – und das in einem Ausmaß von über 98 %. Es geht dabei nicht darum, die Wärme „besser“ zu machen, sondern vielmehr darum, sie in die richtige Richtung zu lenken. Anstatt Energie an die Lampenhülle zu verlieren, wird sie direkt auf den Wafer zurückgeworfen.
Das Ergebnis? Ein besserer Wärmefluss und kürzere Aufwärmzeiten. Das Beste daran: Man erhält diese zusätzliche Leistung, ohne mehr Strom von der Stromversorgung beziehen zu müssen.
Etwas zu den technischen Details
Diese Lampen sind dafür konzipiert, hohe Temperaturen zu bewältigen. Wir können die Leistung und Spannung so anpassen, dass sie perfekt zu Ihrer vorhandenen Stromversorgung passen.
Falls Sie eine schnelle Trocknung oder Erhitzung benötigen, sollten Sie Lampen mit hoher Leistung verwenden. Denken Sie jedoch daran, dass dies viel Belastung auf die Steckdosen ausübt. Zudem kann es zu Problemen kommen, wenn zu viel Energie in einen kurzen Glasrohrkörper geleitet wird. Wir lösen dieses Problem, indem wir den Glühfaden perfekt zentrieren – so müssen Sie sich keine Sorgen machen.
Ein paar Dinge, auf die Sie achten sollten
Um ehrlich zu sein: Goldbeschichtungen sind zunächst teurer. Zudem muss man beim Einbau etwas vorsichtiger sein. Jeder Fingerabdruck oder Kratzer auf der Goldschicht kann dazu führen, dass es zu „Kaltstellen“ kommt. Auf einem 300-mm-Wafer kann eine solche ungleichmäßige Erwärmung wirklich problematisch sein.
Wenn Sie von ungebeschichteten Lampen auf solche mit Goldbeschichtung wechseln, rechnen Sie damit, dass die Oberflächentemperatur steigt. Es handelt sich dabei um eine viel konzentrierte Energie. Überprüfen Sie unbedingt, ob Ihre Kühlventilatoren und Kühler die zusätzliche Belastung bewältigen können – sonst könnten Sie versehentlich einen nahegelegenen Sensor zerstören.