In den Fertigungsstätten ist die thermische Schwankung während des Brennvorgangs des Fotolacks keine theoretische Sorge – sie gefährdet vielmehr die Produktqualität. Schon eine Abweichung von 0,5 °C kann dazu führen, dass kritische Dimensionen verändert werden. Zudem verbraucht eine Lampe, die ständig versucht, den optimalen Betriebspunkt zu erreichen, Minuten pro Charge. Deshalb haben wir einen SCR-Stromregler für Lampensysteme entwickelt, um diese Schwankungen bereits bei der Quelle zu eliminieren.
Was technisch wichtig ist: Der Regler basiert auf einer Phasenwinkelaussteuerung und weist außerdem eine geringe EMI-Emission auf. Dadurch bleibt die Leistung der Lampe konstant, ohne dass Störungen auf die angrenzenden Komponenten übertragen werden. Der Regler ist für Halogen-, Quarz-, Kurzwellen-, Mittelwellen- sowie Kohlenstofffaserlampen geeignet. Zudem hält er die Ausgangsleistung innerhalb strenger Toleranzen, auch wenn sich die Bedingungen der Leitung und der Last ändern.
In der Praxis bedeutet das wiederholbare Brennprozesse mit einer Homogenität der Wafer auf dem Niveau von ±0,1 °C. Zudem entspricht das System den Anforderungen eines Reinraums: Die verwendeten Materialien und die Konstruktion sind für Klassen 1–100 geeignet. Außerdem entstehen während des Betriebs keine Partikel.
Der Grund dafür ist einfach: Der Regler ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung. Dadurch verbessert sich die Reproduzierbarkeit des Brennvorgangs des Fotolacks – es gibt weniger Abweichungen, die eine erneute Behandlung der Wafer erfordern. Die thermische Stabilität verringert außerdem die Zeit, die benötigt wird, um den optimalen Betriebspunkt zu erreichen. Gleichzeitig sinkt der Energieverbrauch, da der Regler die Lampleistung präzise steuert – es kommt weder zu Überschreitungen noch zu unnötigen Zyklen. Das Ergebnis ist eine zuverlässige Leistung – weniger unplanmäßige Stopps, weniger Abweichungen der Parameter sowie konstante Ergebnisse von Wafer zu Wafer.
Ein paar praktische Hinweise: Der Regler funktioniert mit den meisten Standardlammpfosten. Doch zur gewährleisteten Stabilität ist es wichtig, die Kaltwiderstandswerte sowie das Verhalten der Lampe bei Einschalten genau anzupassen. Es ist außerdem notwendig, den PID-Zyklus entsprechend der jeweiligen Lampe und der thermischen Masse einzustellen. Ohne diese Anpassungen können bei Änderungen des Setpoints leichte Überschreitungen auftreten.
Stellen Sie sicher, dass die Wärme effektiv abgeleitet wird und dass der Regler nicht in die Nähe von Lösungsmittelhaltigen Abgasströmen gelangt. Sobald alles richtig eingestellt ist, kann das System kontinuierlich arbeiten – mehr als 5.000 Stunden lang mit weniger als 5 % Leistungsabweichungen. So bleibt Ihr thermisches Budget geschützt.