Auf der Lithografieanlage gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Schon eine Abweichung von einem halben Grad während des Trocknungsprozesses des Fotolacks reicht aus, um einen stabilen Prozess in ein Problem zu verwandeln. Die Spezifikationen bezüglich der Temperatur während des Trocknungsprozesses werden deshalb streng eingehalten – schließlich bestimmt die Temperaturhomogenität die Genauigkeit der Linienbreite. Diese Kontrolle beginnt bereits bei dem IR-Lampensystem.
Was wirklich wichtig ist Wir wählen Aluminiumbeschichtungen für die IR-Lampen aus, damit eine wiederholbare und räumlich stabile Wärmeabgabe gewährleistet wird. Die Geometrie der Lampen ist so gestaltet, dass das Beleuchtungsprofil exakt auf die Waferfläche abgestimmt ist – mit einer Homogenität von ±0,1°C. Die Oberfläche ist außerdem passiviert und versiegelt, sodass sie in Reinräumen der Klasse 1–100 verwendet werden kann, ohne dass es zu Ausgasungen kommt.
Durch die Verwendung einer fest verbundenen, nicht abblätternden Reflexionsbeschichtung sowie eines monolithischen Randverschlusses wird eine Partikelbildung verhindert. Dadurch entsteht eine stabile Emissivität, ein vorhersehbares thermisches Verhalten sowie eine zuverlässige Leistung beim Trocknungsprozess – von Durchgang zu Durchgang.
Warum das System im Fotolackverarbeitungsprozess funktioniert Der Reflektor sorgt dafür, dass die thermischen Bedingungen kontrolliert bleiben – dadurch bleibt die Kontrolle über die kritischen Abmessungen innerhalb der zulässigen Toleranzen. Die hohe Homogenität reduziert die Anzahl der fehlerhaften Produkte und hilft dabei, die Qualifizierungszyklen zu verkürzen. Zudem sorgt die Kompatibilität mit Reinräumen dafür, dass die Partikelanzahl gering bleibt – somit werden Reticle und Wafer geschützt.
Die Zuverlässigkeit der Geräte liegt in den verwendeten Materialien. Der Reflektor hält seine Leistung über 5.000 Stunden lang konstant – das bedeutet weniger unerwartete Störungen und weniger Stillstände. Zudem wird durch die Geometrie der Lampen die Energie effektiver eingesetzt – die Wärme wird genau dort abgegeben, wo sie benötigt wird – und nicht an den Wänden der Kammer.
Praktische Details, die man berücksichtigen muss Der Reflektor funktioniert mit Kurzwellen- und Mittelwellen-IR-Lampen. Doch es muss darauf geachtet werden, dass die spektrale Ausstrahlung der Lampen sowie die Geometrie der Kammer zur gewünschten thermostatischen Eigenschaft des Fotolacks passen. Die Installationstoleranzen sind sehr gering – die Ausrichtung sowie der Abstand zwischen der Lampe und dem Reflektor beeinflussen direkt die Homogenität.
Nach dem Austausch der Lampen sollte eine kurze Zeit zum Abkühlen eingeplant werden. Die Wiederholbarkeit des Trocknungsprozesses hängt davon ab, ob das System vollständig stabilisiert ist, bevor die Qualifizierungserprobungen durchgeführt werden.