En el proceso de litografía, un cambio de temperatura de 0,5°C durante el proceso de secado es suficiente para arruinar toda una producción. El “secado suave” consiste en eliminar los disolventes de manera eficaz; el “secado duro”, en cambio, sirve para fijar el perfil térmico deseado. Cuando la uniformidad térmica se ve afectada, el control del espesor del material fotográfico falla y aumenta la cantidad de partículas presentes.
Lo que hemos creado y por qué es importante
Hemos instalado el módulo de secado sobre emisores de luz infrarroja de onda corta, junto con un sistema térmico mejorado con cuarzo. Esto nos permite lograr una uniformidad térmica de ±0,1°C en toda la superficie de la oblea, además de una estabilidad en el punto de control térmico, incluso durante todo el tiempo. Este sistema es compatible con salas limpias de clase 1 a clase 100, y no genera partículas durante el proceso de secado. El rendimiento térmico del fotoreactivos es consistente de lote en lote, ya que los perfiles térmicos siguen exactamente las especificaciones establecidas.
Por qué funciona bien en la línea de producción
Se pueden realizar tanto procesos de secado suave como duro en la misma plataforma térmica, lo que elimina las diferencias entre los hornos. Esto reduce el tiempo necesario para completar el proceso y disminuye el uso de energía, ya que el calor proviene de los emisores infrarrojos y no del propio horno. La fiabilidad del sistema está garantizada: los componentes están diseñados para funcionar de forma continua, y el arreglo de emisores puede funcionar durante más de 5,000 horas sin que la eficiencia disminuya más del 5%. Se necesitan menos intervenciones y menos paradas para mantenimiento, lo que permite un control térmico consistente en cada oblea.
Qué se debe tener en cuenta
El módulo se integra fácilmente en las instalaciones existentes, a través de interfaces mecánicas y eléctricas estándar. Sin embargo, se necesita una línea de control dedicada de 24V, además de un sistema de enfriamiento eficaz y filtrado, para mantener la estabilidad térmica. Es necesario realizar pruebas preliminares para determinar las diferencias de temperatura entre la oblea y la plataforma de secado. Una vez que eso se haya ajustado, el rendimiento del proceso será consistente, con mínima intervención por parte del operador.