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Cocción efectiva del fotoresisto _con IR

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En el proceso de litografía, un cambio de temperatura de 0,5°C durante el proceso de secado es suficiente para arruinar toda una producción. El...
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Lámpara de horneado para recubridor giratorio

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En la sala de litografía, el horneado no es una pausa, es la línea divisoria. El soft bake elimina el disolvente del fotoresistente. El hard bake...
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