Cocción efectiva del fotoresisto _con IR
En el proceso de litografía, un cambio de temperatura de 0,5°C durante el proceso de secado es suficiente para arruinar toda una producción. El...
Lámpara de horneado para recubridor giratorio
En la sala de litografía, el horneado no es una pausa, es la línea divisoria. El soft bake elimina el disolvente del fotoresistente. El hard bake...