مقدمه
نکته مهم این است که اگر قصد خرید لامپهای مناسب برای فرآیندهای حرارتی در آلیبابا را دارید، میتوانید به ما اعتماد کنید؛ هیچ ریسکی وجود ندارد. ما لامپهای RTP را طوری طراحی کردهایم که برای فرآیندهای حرارتی نیمههادی مناسب باشند؛ تنها دامنه دمایی قابل قبول، ۰.۱ درجه سانتیگراد است.
این لامپها از سیستم گرمایش هالوژنی استفاده میکنند؛ این روش با شرایط الکتریکی سیستم هماهنگ است، و به راحتی میتوان آنها را در سیستمهای حرارتی مورد استفاده قرار داد. هیچ پیچیدگیای وجود ندارد؛ تنها عملکرد عالی مهم است.
بررسی فنی
هدف اصلی لامپهای RTP، سرعت و پایداری است. بنابراین، از سیستم گرمایش هالوژنی با چگالی بالا استفاده میشود؛ این امر باعث میشود که گرما در صورت تغییر دمای مورد نظر، بلافاصله پاسخ دهد. ما ولتاژ و توان لامپها را بر اساس طول لوله و بار حرارتی مورد نیاز تنظیم میکنیم.
این لامپها برای استفاده در فرآیندهای عمومی مناسب نیستند؛ بلکه به گونهای طراحی شدهاند که پروفایل حرارتی ویفر در تمام مراحل فرآیند، پایدار بماند.
همچنین، اندازه این لامپها به گونهای است که بتوان آنها را بدون تغییر در سیستم موجود، در کامرای RTP نصب کرد. این طراحی باعث میشود که نور یکنواختی در کل منطقه فرآیند توزیع شود؛ بنابراین مشکلات مربوط به تفاوت دمای گوشهها و مرکز وجود نخواهد داشت.
مواد و طراحی
ما از پوشش کوارتزی برای لامپها استفاده میکنیم؛ زیرا این پوشش میتواند گرمای بالا و چرخههای مکرر را بدون ترک خوردن تحمل کند. ماده هالوژنی موجود در لامپ، انتقال حرارت را پایدار و قابل پیشبینی نگه میدارد؛ همچنین از فیلامنت لامپ محافظت میکند تا نیازی به تعویض زودهنگام آن نباشد. سطح پوشش شده لامپ نیز به کنترل انتشار حرارت کمک میکند.
در محیطهای عملیاتی، انتخاب اتصالات نیز مهم است؛ ما از اتصالات نوع R7s استفاده میکنیم؛ این اتصالات عملکرد خوبی دارند، استاندارد هستند و تعویض آنها نیز سریع انجام میشود. این اتصالات باعث ایجاد تماس خوب بین لامپ و سیستم میشوند و جریان الکتریکی را بدون ایجاد نقاط گرم، هدایت میکنند.
کاربردها و مزایا
در فرآیندهای پردازش ویفر، پایداری دما بسیار مهم است. لامپهای RTP، قابلیت تکرارپذیری لازم برای کنترل دقیق دما را فراهم میکنند؛ بنابراین پروفایل حرارتی فرآیند، قابل پیشبینی خواهد بود. واکنش کنترلی لامپها نیز به اندازهای سریع است که بتوان از آنها در چرخههای حرارتی استفاده کرد. همچنین، اتصالات مکانیکی لامپها نیز برای ادغام آسان در سیستمهای موجود، مناسب هستند.
یک نکته منفی نیز وجود دارد: چگالی حرارتی بالا به این معناست که سیستمهای خنککننده و منابع تغذیه لامپها باید به خوبی طراحی شوند. اگر جریان هوا و سیستم الکتریکی را از قبل برنامهریزی کنید، میتوانید فرآیندهای پایداری داشته باشید و مشکلات کمتری با آنها مواجه شوید.
اگر به دنبال پایداری دما در سطح ۰.۱ درجه سانتیگراد هستید، بدون پرداخت هزینههای اضافی، لامپهای RTP گزینهای مناسب و کارآمد برای جایگزینی لامپهای وارداتی هستند.