در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتیگراد در طول فرآیند پختن فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ابعاد حیاتی قطعات شود؛ این امر میتواند منجر به از بین رفتن کلیت کار شود. ما همین مشکل را در نظر گرفته و هیترهایی طراحی کردهایم که دمای ویفر را در طول فرآیندهای پختن، حفظ کنند؛ بدون اینکه به تمیزی اتاقهای پاکسازی آسیبی وارد شود.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما به دنبال یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد هستیم؛ این اندازهگیری باید در خود سطح فرآیند انجام شود، نه در داخل بدنه هیتر. استفاده از اجزای با پاسخ سریع، امکان کنترل دقیق دما را فراهم میکند؛ همچنین، استفاده از کوارتز و سرامیکهای با خلوص بالا، از تولید گازها و ذرات جلوگیری میکند. نصب مناسب و سیمکشی محافظتشده نیز به حفظ سطح پاکیزگی اتاقهای پاکسازی کمک میکند. چرخه کنترل نیز به گونهای تنظیم شده است که هر بار فرآیند پختن، دقیقاً مشابه بار قبل انجام شود.
در کارخانههایی که تولیدات زیادی دارند، یکنواختی فرآیند پختن فوتورزیست، باعث کاهش کارهای تکراری و اختلافات ناشی از تغییرات عرض خطوط تولید میشود. یکنواختی بالاتر، به معنای کمتر بودن نقصهای سطحی و بازدهی قابل پیشبینیتر است. کنترل دمای پایدار و قابل تکرار، همچنین باعث کاهش زمان لازم برای تأیید کیفیت محصولات و کاهش مصرف انرژی میشود.
این هیترها به صورت ۲۴/۷ کار میکنند و نیاز به نگهداری کمی دارند؛ بنابراین، توقف ناخواسته فرآیند تولید در میان جریان مداوم تولید، اتفاق نخواهد افتاد.
چند نکته عملی:
این دستگاهها برای فضاهای و ولتاژهای مشخصی طراحی شدهاند. اگر آنها را در فضایی که برای آنها مناسب نیست، قرار دهید، یکنواختی دما از بین خواهد رفت؛ همچنین، این امر میتواند به تمیزی رابطهای بین دستگاهها آسیب برساند. لطفاً دستگاهها را با ابعاد، نوع کانکتور و ولتاژ دقیق سفارش دهید؛ سپس، پس از نصب، یک ارزیابی سریع دمایی انجام دهید تا فرآیند کاری به درستی انجام شود.