در فرآیند لیتوگرافی، اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در فرآیندهای پخت نرم یا سخت، را نمیتوان «ابتلاط کوچک» در نظر گرفت؛ زیرا این اختلافات باعث کاهش کیفیت محصول میشود. این موضوع را میتوان در نمودارهای یکنواختی سطح ویفر و همچنین در تعداد قطعات باکیفیت تولید شده مشاهده کرد. برای حفظ استابیلیت حرارتی، باید از گرمایشکنندههای مادون قرمز برای کنترل دما استفاده کرد؛ این گرمایشکنندهها باید با سیستمهای نوری و فوتورزیست هماهنگ باشند.
ما این دستگاه را به گونهای طراحی کردهایم که کنترل دما در سطح ویفر انجام شود؛ این کار باعث میشود که دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند؛ یعنی قسمتهای مختلف ویفر، همان شرایط پخت را داشته باشند.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک مناسب است؛ زیرا اجزای آن از جنس کوارتز هستند و ساختار آن به گونهای است که گازهای زائد از آن خارج نشوند. این امر باعث میشود که ذرات در جای خود باقی بمانند. همچنین، کنترل دقیق دما در سطح ویفر، باعث افزایش قابلیت تکرارپذیری فرآیند تولید میشود.
در فرآیندهای پخت، زمان و دما مسائل مهمی هستند؛ گرمایشکنندههای مادون قرمز باعث کاهش زمان پخت میشوند، بدون اینکه باعث افزایش ناگهانی دما شوند؛ بنابراین میتوان فرآیندهای تولید را سریعتر انجام داد و در عین حال کنترل دقیق ابعاد محصول را حفظ کرد. پروفایلهای فوتورزیست نیز در هر دور تولید یکسان باقی میمانند؛ این امر باعث کاهش تعداد کارهای تکراری و تغییرات لازم بر روی ماسکها میشود.
همچنین، این دستگاه به کاهش هزینههای انرژی کمک میکند؛ زیرا انرژی مستقیماً به سمت ویفر هدایت میشود؛ بنابراین گرمای اضافی کاهش مییابد. در عمل، قابلیت اطمینان این دستگاه در ادامه فعالیت آن است؛ یعنی سیستم میتواند ۲۴ ساعته کار کند، بدون اینکه مشکلاتی برای شروع فرآیندهای تولید به وجود آید.
نصب این دستگاه نیازمند توجه به جزئیات است؛ باید اتصالات دستگاه را درست انجام داد و ولتاژ و سیستم خنککنندگی آن را بررسی کرد. این دستگاه به هوای تمیز و خشک و ولتاژ ثابت نیاز دارد؛ کاهش ولتاژ میتواند باعث افزایش زمان لازم برای پخت شود.
ما یک مجموعه کالیبراسیون و الگوهای مربوط به فوتورزیستهای رایج را نیز ارائه میدهیم؛ اما تنظیمات نهایی باید بر اساس دادههای اندازهگیری شده انجام شود.