دیگر اجازه ندهید انرژی خود را هدر دهید: چرا لامپهای مبتنی بر تشعشعات مادون قرمز با پوشش طلا اهمیت زیادی دارند؟
هنگام پردازش ویفرهای نیمههادی، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد. اکثر لامپهای استاندارد، انرژی را در تمام جهات منتشر میکنند؛ یعنی ۳۶۰ درجه از سمتهای مختلف. اما ویفر شما فقط در یک سمت قرار دارد؛ بنابراین در واقع شما بیدلیل داخل دستگاه خود را گرم میکنید.
ما این مشکل را با اضافه کردن یک لایه نازک از طلا با خلوص بالا به قسمت پشتی لامپ، حل کردیم.
طلا در بازتاب تشعشعات مادون قرمز عملکرد فوقالعادهای دارد؛ میزان بازتاب بیش از ۹۸ درصد است. موضوع این نیست که گرما «بهتر» شود، بلکه هدف این است که انرژی را در جهت صحیح هدایت کنیم. به جای اینکه انرژی در بدنه لامپ از بین برود، آن را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکنیم.
نتیجه چیست؟ پروفایل حرارتی بهتری خواهید داشت و زمان لازم برای گرم شدن ویفر کاهش خواهد یافت. بهترین بخش این است که میتوانید از انرژی بیشتری استفاده کنید، بدون اینکه نیاز به جریان بیشتری از منبع تغذیه داشته باشید.
جزئیات مربوط به سختافزار
این لامپها برای تحمل گرمای زیاد طراحی شدهاند. ما میتوانیم توان و ولتاژ لامپ را تنظیم کنیم تا با منبع تغذیه موجود شما سازگار شود.
اگر نیاز به خشک کردن سریع دارید، باید از لامپهایی با توان بالا استفاده کنید. البته باید توجه داشت که این لامپها فشار زیادی بر سوکتها وارد میکنند. همچنین، اگر انرژی زیادی را در لامپهای کوتاه قرار دهید، انتهای لامپ ممکن است تحت فشار قرار بگیرد. ما این مشکل را با قرار دادن درست فیلامنت در مرکز لامپ، حل کردهایم؛ بنابراین نیازی به نگرانی نیست.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
باید صادقانه بگویم که پوشش طلا هزینه بیشتری دارد. همچنین، هنگام نصب این لامپها باید مراقبت بیشتری کنید؛ یک اثر انگشت یا خراش کوچک روی لایه طلا میتواند باعث ایجاد «نقاط سرد» شود. در ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری، چنین توزیع ناهموار حرارتی میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند.
همچنین، اگر از لامپهای بدون پوشش طلا به این لامپها تغییر دهید، باید آماده افزایش دمای سطحی لامپ باشید. انرژی در این لامپها بسیار بیشتر است؛ بنابراین باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده و سیستمهای خنککننده شما میتوانند این بار اضافی را تحمل کنند؛ در غیر این صورت، ممکن است سنسورهای مجاور آسیب ببینند.