در فرآیندهای لیتوگرافی، میدانید که حتی تغییر ۰.۵ درجه سانتیگراد در دمای پخت، باعث تغییر ابعاد مهم قطعات میشود؛ این تغییرات میتواند منجر به ایجاد مقدار زیادی محصولات ناکارآمد شود. ما لامپهای مادون قرمز را همراه با دستگاههای برش هوایی طراحی کردهایم تا دمای مناسب بر روی ویفر حفظ شود؛ چرا که این کار باعث میشود کیفیت تصویر تولید شده بهتر شود.
دقت گرمایش مادون قرمز: یکنواختی و تکرارپذیری در مقیاس زیر میلیمتری
این سیستم از فرستندههای موج کوتاه مادون قرمز برای انتقال انرژی به سرعت به روی فوتورزیست استفاده میکند. کنترل حلقه بسته، دمای مورد نظر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند. طراحی مبتنی بر کوارتز نیز باعث استقرار دما و یکنواختی آن میشود؛ این امر باعث کاهش نویزهای ناشی از تغییرات دما میشود.
دستگاه برش هوایی: این دستگاه، پردهای با سرعت بالا روی سطح ویفر ایجاد میکند؛ این پرده، رطوبت و ذرات موجود روی سطح ویفر را بدون تماس با خود ویفر، از بین میبرد. بنابراین میتوان از این دستگاه در اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ استفاده کرد و تعداد ذرات موجود روی سطح ویفر را کاهش داد.
چرا این سیستم برای فرآیندهای نیمههادی مناسب است؟
این سیستم برای فرآیندهای مربوط به فوتورزیست طراحی شده است؛ این سیستم، آلایندههای موجود روی سطح ویفر را قبل از پخت، از بین میبرد؛ همچنین گرمای مادون قرمز، دمای مورد نظر را به طور دقیق تأمین میکند.
مزایای استفاده از این سیستم: کنترل دقیقتر ابعاد قطعات، کاهش تعداد محصولات ناکارآمد، و امکان برنامهریزی دقیق برای تولید. این دستگاه میتواند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کند، بدون اینکه کیفیت تولید کاهش یابد.
نکات مربوط به نصب و استفاده:
این لامپ را میتوان در قالب ابزارهای استاندارد قرار داد؛ اما تنظیمات مربوط به ارتفاع فرستندهها و فاصله بین آنها اهمیت زیادی دارد. لازم است که فشار هوا در اتاق تمیز بتواند جریان هوای اضافی را کنترل کند؛ در غیر این صورت، نوسانات دمایی ایجاد خواهد شد. همچنین، باید به طور منظم فرستندهها را کالیبره کرد؛ تکرارپذیری در فرآیندهای تولید، به طور تصادفی اتفاق نمیافتد.