در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دمای حرارتی معادل ۰.۵ درجه سانتی‌گراد کافی است تا کل محموله محصولات از بین برود. فرآیند حرارتی نرم، به منظور خارج کردن...

در سالن لیتوگرافی، bake یک توقف نیست—این خط قرمز است. Soft bake حلال فتو رزین را تبخیر می‌کند. Hard bake تصویر ماسک را قبل از اچ تثبیت می‌کند. اگر...