Lampe à infrarouge à ondes courtes semi conducteur
Sur la ligne de lithographie, le temps n’est jamais un allié. Un pré-bake dont la température dérive de seulement 2°C perturbe l’évaporation des...
Chauffage infrarouge à ondes moyennes pour wafer
Sur le plancher, la ligne vibre doucement. Les cellules de lithographie font passer les wafers à travers les étapes de soft bake et hard bake, et les...