בתהליך הליתוגרפיה, כמו שידוע, שינוי של 0.5 מעלות צלזיוס בטמפרטורת החימום יגרום לשינוי בממדים הקריטיים של הוואפר – בננומטרים. זה אומר הרבה חומרים חסרי תועלת. לכן יוצרנו את המנורה האינפרא-אדומה עם מערכת סכין אוויר, כדי לשמור על הטמפרטורה הרצויה על פני הוואפר, משימוש לשימוש.
דיוק בחימום באמצעות אינפרא-אדום: אחידות וחזרתיות ברמה של פחות ממילימטר אחד.
המערכת משתמשת בגופי פליטה בגלים קצרים כדי להעביר אנרגיה ישירות אל הפוטורזיסט. בקרה במעגל סגור שומרת על הטמפרטורה בטווח של ±0.1 מעלות צלזיוס. העיצוב המבוסס על קוורץ שומר על יציבות הטמפרטורה ועל אחידותה, מה שמשפר את איכות התוצאה.
הסכין האווירית יוצרת שכבה אווירית בעלת מהירות גבוהה על פני הוואפר. היא מסירה לחות וחלקיקים מבלי לגעת בוואפר עצמו, כך שניתן לעבוד בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100 ולשמור על רמת חלקיקים נמוכה.
למה זה מתאים לעיבוד שבבים:
המערכת מיועדת לעיבוד פוטורזיסט – חימום רך, חימום קשה וחימום לאחר החשיפה. הסכין האווירית מסירה חלקיקים מהוואפר לפני שהם נקלטים בשכבה החדשה, והחום האינפרא-אדום מספק את הטמפרטורה הרצויה בכל פעם.
התוצאה היא שליטה טובה יותר בממדים של הוואפר, פחות צורך בעבודה חוזרת, ותפוקה צפויה. המערכת גם עמידה לאורך זמן – ראינו מערכות שפועלות יותר מ-5,000 שעות עם ירידה של פחות מ-5% בתפוקה.
התקנה והפעלה:
המנורה ניתנת להתקנה בתוך כלים סטנדרטיים, אך חשוב לוודא שההתאמות הנדרשות נעשות כראוי. יש לבצע הגדרות ראשוניות לגובה הגוף הפולט, למרחק בין הסכין האווירית לוואפר, וליצירת מפת טמפרטורות.
ודאו שהלחץ בחדר הניקיון ומערכות האוורור יכולות להתמודד עם זרימת האוויר הנוספת. אם לא, עלולות להיווצר טורבולנציות שיפגעו באחידות החימום. כמו כן, יש לבצע כיול קבוע של הגוף הפולט – אחידות בתהליך לא נוצרת במקרה.