ספק מחממים לחצאי מוליכים

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של הוופר – בהיקף של ננומטרים...