בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של הוופר – בהיקף של ננומטרים בודדים. זה עלול לגרום לנזקים חמורים. אנו מייצרים מחממים שנועדו בדיוק לצורך זה. כספקי מחממים לתעשיית החצאי-מוליכים, אנו מעצבים מערכות תרמיות ששומרות על טמפרטורה יציבה של הוופר במהלך כל שלבי האפייה – מבלי לפגוע ברמת הניקיון של חדר העבודה מסוג Class 1–100.
מה חשוב באמת? אנו שואפים ליציבות תרמית של ±0.1°C ברמת הוופר, כאשר המדידה נעשית ישירות על פני השטח שעליו מתבצע התהליך, ולא בתוך גוף המחמם עצמו. רכיבים בעלי תגובה מהירה, בעלי גל ארוך או בינוני, שומרים על טמפרטורה יציבה. חומרים כמו קוורץ וחומרים קרמיים בעלי טוהר גבוה מונעים יצירת גזים וחלקיקים – כך שאין עלייה בטמפרטורה. חיבורים איכותיים וחישוכים מסייעים לשמור על רמת הניקיון של חדר העבודה. מעגל הבקרה מותאם כך שכל תהליך אפייה יהיה זהה לקודמו, בכל סדרת ייצור.
במפעלים בעלי קיבולת גבוהה, יציבות הטמפרטורה במהלך תהליך האפייה מקטינה את הצורך בעבודות תיקון ואת השינויים הנגרמים כתוצאה משינויים ברוחב הקווים. יציבות טמפרטורה גבוהה מביאה לפחות פגמים בשולי הוופר, ולתוצאות יציבות יותר. גם שליטה יציבה בטמפרטורה מקצרת את זמני ההכנה ומפחיתה את שימוש האנרגיה.
מחממים אלו פועלים 24/7 עם צורך מינימלי בתחזוקה, כך שאין סיכוי להפסקות בעבודה באמצע תהליך הייצור.
כמה הערות פרקטיות מחממים אלו מיועדים לשימוש בתנאים מסוימים של חדר העבודה ולמתח חשמלי מסוים. אם ניסו להשתמש בהם בתנאים שאינם מתאימים, עלולה להיפגע היציבות של הטמפרטורה – וזה עלול לפגוע ברמת הניקיון של חדר העבודה. יש להזמין את המחממים עם המידות המדויקות, סוג החיבור והמתח החשמלי הנדרש. לאחר ההתקנה, יש לבצע בדיקה תרמית כדי לוודא שהכל פועל כראוי.