देखिए, माइक्रो एलईडी वेफर को अंतिम धोने की प्रक्रिया से निकालकर वहीं रखा गया है; अब यह सूखने का इंतजार कर रहा है। उत्पादन प्रक्रिया में, चीजें कितनी जल्दी गड़बड़ हो सकती हैं, यह तो आप जानते ही हैं। यदि हीटर का तापमान थोड़ा भी बदल जाए, तो किनारों पर मौजूद छोटे-छोटे कण वहीं रह जाएंगे, फोटोरेसिस्ट पैटर्न धुंधले हो जाएंगे, और लिथोग्राफी प्रक्रिया शुरू होने से पहले ही उत्पादन में कमी आ जाएगी। हमने माइक्रो एलईडी वेफरों को सूखाने हेतु ऐसा ही हीटर विकसित किया है, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
यह उपकरण क्वार्ट्ज विंडोओं के पीछे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करता है; इससे तेज गति से तापन होता है, एवं तापमान जल्दी ही कम हो जाता है। वेफर के सतही क्षेत्र में तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक बनी रहती है। इसी कारण किनारों पर मौजूद कण साफ हो जाते हैं, एवं फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया बार-बार एक ही तरह से होती रहती है।
यह क्यों माइक्रो एलईडी उत्पादन हेतु उपयुक्त है?
माइक्रो एलईडी उत्पादन में तापीय नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है; किसी भी प्रकार के दूषण की गुंजाइश ही नहीं है। यह ड्रायर, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों प्रक्रियाओं में तापमान को स्थिर रखता है; इससे तापीय असमानताओं के कारण कोई समस्या नहीं आती। जब तापन प्रक्रिया बार-बार एक ही तरह से होती है, तो उत्पादन प्रक्रिया में बाधाएँ कम हो जाती हैं।
ऊर्जा उपयोग:
चूँकि यह प्रणाली केवल वांछित क्षेत्र को ही गर्म करती है, इसलिए ऊर्जा की खपत कम होती है। इसकी विश्वसनीयता 24/7 कार्य हेतु है; इसमें ऐसे ही घटकों का उपयोग किया गया है, जिनका जीवनकाल लंबा हो, एवं जिनकी देखभाल आसानी से की जा सके। इससे अप्रत्याशित रूप से मशीन बंद होने की समस्या नहीं आती।
कुछ व्यावहारिक टिप्स:
जब एग्जॉस्ट पथ, उपकरण की डक्टिंग सिस्टम से मेल खाता है, तभी सबसे अच्छा प्रदर्शन प्राप्त होता है। अगर पीछे का दबाव सही न हो, तो तापमान स्थिर नहीं रहेगा, एवं कणों संबंधी समस्याएँ आ सकती हैं। इंस्टॉलेशन के समय, चक का आकार एवं कनेक्टर इंटरफेस, आपके उपकरण/ड्रायर प्लेटफॉर्म के अनुरूप होना आवश्यक है।
सेटअप प्रक्रिया:
अपनी आवश्यकताओं के अनुसार सॉल्वेंट मिश्रण एवं वेफर के आकार को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। एक बार यह समायोजन हो जाने के बाद, उत्पादन प्रक्रिया बिना किसी बाधा के चलती रहती है।