Di lantai produksi, kelembapan yang masih tersisa setelah proses pembersihan, serta pertumbuhan oksida alami pada permukaan silikon, dapat mengurangi daya rekat lapisan fotoresist sebelum Anda menyadarinya. Hal ini akan menyebabkan masalah seperti penurunan kualitas permukaan silikon setelah proses etching, atau munculnya struktur berbentuk jembatan pada permukaan silikon selama proses litografi. Kami merancang pemanas inframerah untuk digunakan setelah proses pembersihan, agar ketidakpastian tersebut dapat dihilangkan.
Apa yang penting secara teknis?
Pemanas ini menggunakan emiter inframerah gelombang pendek yang beroperasi melalui jalur optik tanpa menggunakan kuarsa, sehingga tidak ada partikel yang terbentuk. Dengan demikian, tingkat kebersihan ruangan tetap terjaga sesuai standar Class 1–100. Keseragaman suhu di seluruh permukaan silikon tetap berada pada kisaran ±0,1°C, sehingga proses pengeringan fotoresist berjalan secara konsisten dari satu batch ke batch berikutnya. Responsnya cepat, sehingga proses pengeringan dapat dilakukan tanpa melebihi batas suhu yang ditentukan. Pemanas ini juga dapat digunakan untuk proses pengeringan jenis Soft Bake maupun Hard Bake, dan dapat dipasang dalam sistem pengeringan yang sudah ada atau secara mandiri.
Mengapa hal ini efektif dalam praktiknya?
Segera setelah proses pembersihan dan pencucian, pemanas ini akan mengeringkan dan menstabilkan permukaan silikon, sehingga silikon siap untuk proses pengecatan dengan fotoresist. Kontrol suhu yang ketat memungkinkan terciptanya ketebalan lapisan fotoresist yang seragam, serta mengurangi variasi pada tepi-tepi lapisan fotoresist. Hal ini sangat penting ketika digunakan untuk proses pembuatan sirkuit logika yang kompleks atau memori dengan pitch yang kecil. Penggunaan energi juga berkurang, karena panas langsung masuk ke substrat tanpa terjadi penumpukan panas yang berlebihan. Waktu operasional tetap stabil berkat desain pemanas yang baik dan kemudahan perawatan, sehingga tidak ada gangguan operasional yang tidak terduga.
Apa yang perlu dipersiapkan?
Unit ini membutuhkan pasokan tegangan yang stabil dan sistem pendinginan yang baik agar dapat menjaga keseragaman suhu. Aliran udara yang konsisten serta kondisi emiter yang bersih sangat penting untuk kinerja termal yang baik. Toleransi pemasangan harus tepat, dan ukuran unit harus cocok dengan antarmuka pengendali atau sistem pengeringan yang digunakan. Lakukan uji coba singkat untuk menyesuaikan kecepatan proses pengeringan sesuai dengan jenis fotoresist yang digunakan, lalu tetapkan pengaturan tersebut.