Nelle linee di produzione, anche un cambiamento di temperatura di soli 0,2°C durante il processo di essiccazione del fotorestatto può compromettere l’uniformità del CD e ridurre la resa del prodotto, prima ancora che si possano notare tali effetti sugli strumenti di misura. Abbiamo progettato il nostro riscaldatore a diodo laser per eliminare questo tipo di variazioni fin dal loro insorgere: in questo settore, infatti, il controllo termico non è un semplice elemento ausiliario, ma parte integrante del processo stesso.
Precisione a infrarossi: uniformità su scale sub-millimetriche, risultati ripetibili
Abbiamo abbinato l’emissione a infrarossi vicini con un riscaldamento del wafer a bassa massa termica, in modo che il campo termico rimanga costante, entro valori sub-millimetrici. In questo modo, le differenze tra i vari punti del wafer diventano minime. Nella zona attiva del wafer si ottiene un livello di uniformità pari a ±0,1°C, con risultati ripetibili da un lote all’altro. La risposta del sistema è rapida e prevedibile: i parametri di riscaldamento rimangono sempre entro i limiti previsti, senza alcuna deviazione. Non è quindi necessario correggere continuamente i parametri di riscaldamento.
Perché funziona nella litografia e nell’essiccazione del fotorestatto
Nella litografia, il comportamento del fotorestatto dipende dalla storia termica del wafer, e non soltanto dal valore impostato sull’strumento di misura. Il nostro riscaldatore a diodo laser mantiene stabile questa storia termica, riducendo così le variazioni nelle dimensioni dei lineamenti del wafer e proteggendo gli strati più importanti. Il dispositivo funziona in ambienti puliti di classe 1–100, senza generazione di particelle e con un percorso ottico sigillato: quindi la contaminazione non può influenzare il processo di riscaldamento. Il risultato è un funzionamento affidabile 24/7, un consumo energetico ridotto e una minore necessità di sostituzione dei componenti utilizzati, senza compromettere la qualità del prodotto.
Installazione e compatibilità: progettato per essere integrato nelle linee di produzione esistenti
Il dispositivo può essere integrato nei moduli di riscaldamento esistenti, ma richiede comunque una regolazione precisa e un montaggio adatto agli ambienti puliti. Le prestazioni termiche dipendono dalla corretta impostazione dell’emissività e dal controllo della temperatura ambiente. È necessario effettuare una breve fase di collaudo per verificare l’uniformità del processo. Una volta calibrato, il processo diventa ripetibile, senza bisogno di continue modifiche.