ウェーハ用中波赤外線ヒーター

フロアではラインが稼働音を立てている。リソグラフィセルはウェハーをソフトベークとハードベークに循環させ、温度の設定値は固定されている。ウェハー全体で数度の温度変動、端部付近の冷却スポット、または負荷時にトリップするヒーターは、静かに歩留まりを低下させる。廃棄されるウェハーのコストだけでなく、設備稼...