エアナイフユニット付き赤外線ランプ

リソグラフィーの現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、製品の寸法にナノメートル単位の誤差が生じます。これは、大量の不良品が出ることを意味します。そこで、私たちは赤外線ランプにエアナイフ装置を組み合わせて使用し、ウェーハ全体に均一な熱がかかるようにしています。 赤外線加熱の精度：サブミリメート...