半導体製造用加熱素子

ファブフロアでは、温度は調整する変数ではなく、守るべき仕様です。フォトレジストのソフトベークやハードベーク中に0.5℃の変動があるだけで、重要寸法がずれ、大量のスクラップが発生し、数時間の工程時間が失われます。私たちの半導体プロセス用ヒーター素子は、そのリスクを排除するよう設計されています。 重要...