Di kilang pengeluaran, perubahan suhu semasa proses pembakaran bahan fotoresist bukanlah masalah yang boleh diabaikan begitu sahaja – ia merupakan punca utama yang mengurangkan kualiti produk. Perubahan suhu sebanyak 0.5°C sahaja sudah cukup untuk mengubah dimensi penting bahan tersebut. Selain itu, lampu yang terus berusaha mencapai suhu yang ditetapkan akan memakan masa yang lama untuk setiap sesi pembakaran. Kami telah membina alat kawalan kuasa jenis SCR untuk sistem lampu ini, agar variasi suhu dapat dikurangkan dari awal lagi.
Apa yang penting dari segi teknikalnya ialah alat kawalan ini menggunakan sistem kawalan sudut fasa, dengan reka bentuk yang mampu mengurangkan gangguan elektromagnetik. Ia memastikan kuasa lampu kekal stabil tanpa menyebabkan gangguan pada komponen lain. Alat ini juga mampu mengendalikan pelbagai jenis lampu, termasuk lampu halogen, kuarsa, gelombang pendek, gelombang sederhana, dan lampu berbahan karbon. Ia juga memastikan keluaran kuasa tetap stabil walaupun keadaan litar dan beban berubah-ubah.
Dalam praktiknya, ini bermakna proses pembakaran dapat dilakukan secara konsisten, dengan ketepatan suhu sekitar ±0.1°C di seluruh permukaan wafer. Alat ini juga mematuhi standard bilik bersih; bahan-bahan yang digunakan sesuai untuk kelas 1–100, dan reka bentuknya tidak menghasilkan sebarang zarah semasa beroperasi.
Sebabnya mudah saja – alat ini membolehkan kawalan proses yang lebih tepat. Kebolehulangan proses pembakaran meningkat, jadi kuranglah keperluan untuk melakukan proses pembakaran semula. Stabiliti suhu pula membolehkan setiap kitaran pembakaran diselesaikan dengan lebih cepat, tanpa menjejaskan kualiti produk.
Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana alat ini mampu mengawal kuasa lampu dengan tepat – tiada lebihan tenaga yang dibazirkan. Hasilnya, prestasi sistem menjadi lebih baik: kurang gangguan yang tidak dijangka, kurang penyimpangan parameter, dan hasil pengeluaran wafer tetap konsisten.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diambil kira: Alat ini sesuai digunakan dengan kebanyakan jenis lampu standard. Namun, adalah penting untuk menyesuaikan rintangan lampu dan tingkah lakunya semasa permulaan operasi, agar kawalan dapat dilakukan dengan stabil. Anda perlu melalui proses penalaan PID untuk lampu dan komponen lain yang digunakan. Tanpa penalaan ini, mungkin akan berlaku sedikit penyimpangan apabila suhu ditetapkan berubah.
Pastikan sistem ini mempunyai sistem pengeluaran haba yang efektif, dan elakkan letakkan alat ini berdekatan dengan aliran gas berbahaya. Setelah disetel dengan betul, sistem ini boleh beroperasi secara berterusan selama 5,000+ jam, dengan perubahan keluaran kurang dari 5%. Dengan cara ini, bajet tenaga dapat dipelihara.