Op de lithografieafdeling is een verschil van 0,5°C tijdens het proces van ‘soft bake’ of ‘hard bake’ zeker geen ‘kleine afwijking’. Het resultaat is dat de kwaliteit van het product verslechtert – dit is duidelijk te zien aan de grafiek van de uniformiteit van de CD’s en aan de hoeveelheid afval die wordt geproduceerd. De infraroodverwarmers in de coating- en ontwikkelingsapparaten moeten ervoor zorgen dat de thermische stabiliteit in balans blijft met die van de optica en de fotoresist.
We hebben deze verwarmer ontworpen met behulp van controle op niveau van de wafer zelf. De NIR-emitters leveren energie rechtstreeks naar de wafer, zodat er snel temperatuurveranderingen kunnen optreden, zonder dat de thermische balans van de kamer verstoord wordt. Over het hele oppervlak van de wafer blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C – dit betekent dat ook de randen van de wafer dezelfde behandeling krijgen als het midden.
Het apparaat is klaar voor gebruik in een schone ruimte: de elementen zijn omhuld met kwarts en het ontwerp zorgt ervoor dat er weinig stoffen vrijkomen. Dit maakt het mogelijk om het apparaat te gebruiken in omgevingen van klasse 1–100. Dankzij gesloten verbindingen en goede luchtcirculatie blijven de deeltjes op hun plek. De herhalbaarheid wordt bereikt door controle op het oppervlak van de wafer, in plaats van door gokken met de instellingen van de verwarmer.
Bij het coaten en ontwikkelen zijn tijd en temperatuur belangrijk. De infraroodverwarmer verkort de tijd die nodig is voor het proces, zonder dat er thermische schommelingen optreden. Hierdoor kunnen er snellere cycli worden uitgevoerd, terwijl de kwaliteit van het product nog steeds gewaarborgd blijft. De profielen van de fotoresist blijven consistent van batch tot batch, waardoor er minder herwerkingswerk en minder aanpassingen aan de maskers nodig zijn.
Het helpt ook bij de energierekening. Omdat de energie rechtstreeks naar de wafer gaat, wordt er minder warmte verspild in het apparaat. Betrouwbaarheid betekent in feite dat het apparaat 24/7 kan werken, met voorspelbare onderhoudstermijnen. Hierdoor worden er geen onverwachte stilstanden, waardoor de productie niet wordt verstoord.
De installatie vereist veel aandacht voor detail: de interfaces van het apparaat moeten goed passen, en ook de elektrische en koelingsomstandigheden moeten worden gecontroleerd. De verwarmer heeft behoefte aan schone, droge lucht en een stabiele spanning. Een instabiele spanning kan leiden tot vertragingen in het proces.
Wij leveren een kalibratiekit en sjablonen voor veel voorkomende fotoresisten. Echter, de definitieve instellingen moeten worden bepaald op basis van uw eigen metingssystemen en kwaliteitscontroles.