Op de lithografieafdeling is een verschil van 0,5°C tijdens het proces van ‘soft bake’ of ‘hard bake’ zeker geen ‘kleine afwijking’. Het resultaat is...

Op de lithografievloer is de bake geen pauze—het is de scheidslijn. Soft bake verwijdert het photoresistoplosmiddel. Hard bake fixeert het...