Kijk hoe de Micro LED-wafer uit het eindreinigingsproces komt en daar blijft liggen, in afwachting van het drogen. In een productielijn kan het namelijk snel misgaan. Als de heater zelfs maar een paar tiende graad afwijkt van de gewenste waarde, zorgen de randen voor problemen, worden de patronen in de fotoresist vager en daalt de kwaliteit van het product al voordat de lithografie zelfs maar begint. We hebben de droogheater voor Micro LED-wafers ontworpen om deze variabiliteiten uit te sluiten.
Wat er belangrijk is onder de motorkap
De unit maakt gebruik van kortegolf-infraroodelementen achter kwartsramen. Hierdoor wordt er snel warmte toegepast en kan de wafer snel afkoelen. De temperatuur op het oppervlak van de wafer blijft binnen ±0,1°C. Dit zorgt ervoor dat de randen van de wafer netjes worden afgescheiden en dat de parameters van de fotoresist consistent blijven, run na run.
Deunit is ontworpen voor cleanrooms van klasse 1–100: er worden materialen gebruikt die weinig gasen afgeven, en de luchtstroom zorgt er ook voor dat er geen deeltjes worden veroorzaakt. We streven niet alleen naar een goed product, maar ook naar nul deeltjevorming. De heater kan gemakkelijk worden geïntegreerd in track-tools en standalone-droogcellen. Er zijn standaardspanningsopties beschikbaar, en de afmetingen van de heater maken het mogelijk om robotica en metrologische apparaten toe te passen.
Waarom dit geschikt is voor de productie van Micro LED’s
Bij Micro LED’s is het thermische budget beperkt, en er is geen ruimte voor contaminatie. Deze droogheater houdt de temperatuur stabiel tijdens het drogen, zodat er geen problemen ontstaan door thermische oneffenheden. Wanneer het droogproces consistent verloopt, verkorten de kalibratiecyclus en neemt het aantal defecte producten af.
De energieverbruik wordt verminderd omdat het systeem alleen het gewenste gebied verwarmt en snel tussen verschillende taken kan wisselen. De betrouwbaarheid van het apparaat is zo hoog dat het 24/7 kan werken – de componenten zijn zo gekozen dat ze lang meegaan en dat de onderhoudsfrequenties voorspelbaar zijn. Hierdoor wordt onplanbare stilstand vermeden.
Enkele tips voor gebruik
Voor het beste resultaat moet de luchtkanalen perfect passen bij de tool. Een onjuiste backpressure leidt tot langere tijd nodig om de wafer te drogen, en dit kan de kwaliteit van het product negatief beïnvloeden. Tijdens de installatie moet rekening worden gehouden met de afmetingen van de chuck en de aansluitingen van de tool.
Er is een korte instellingsperiode nodig om de juiste instellingen voor het mengsel van oplosmiddelen en de afmetingen van de wafer in te stellen. Zodra dit klaar is, kan het proces soepel verlopen, met minder onderbrekingen.