На этапе литографии существует один важный фактор: даже изменение температуры при нагревании на 0,5°C приводит к смещению критических размеров компонентов на несколько нанометров. Это значит, что количество браковательных изделий резко увеличивается. Мы разработали инфракрасную лампу с устройством для подачи воздушного потока, чтобы сохранять тепловую структуру на нужном уровне — на поверхности пластины, во всем её объеме, на протяжении всего процесса.
Точность инфракрасного нагрева: стабильность и повторяемость на уровне меньше миллиметра
Система использует коротковолновые инфракрасные излучатели для быстрого передачи энергии в фотополимер. Замкнутый контур управления обеспечивает стабильность температуры в пределах ±0,1°C. Кварцевая конструкция гарантирует стабильность тепловой структуры и повторяемость процесса. Это позволяет достигать высокой степени однородности нагрева по всей поверхности пластины, что способствует получению четких изображений.
Интегрированное устройство для подачи воздушного потока создает слой высокоскоростного воздуха на поверхности пластины. Оно удаляет влагу и частицы без контакта с самой пластиной, что позволяет работать в чистых комнатах класса 1–100 и снижать количество частиц в воздухе.
Почему это подходит для производства полупроводников
Эта система предназначена для обработки фотополимера — как в процессе мягкого, так и жесткого нагревания, а также после экспозиции. Устройство для подачи воздушного потока удаляет загрязнения с поверхности перед нагревом, а инфракрасное излучение обеспечивает необходимую температуру для процесса. Это позволяет лучше контролировать размеры компонентов, снизить количество браков и планировать производственные процессы более точно. Устройство также может работать длительное время — мы видели примеры устройств, которые работали более 5000 часов с потерей производительности менее 5%.
Инструкции по установке и эксплуатации
Лампа может быть установлена в стандартные крепления для печей. Однако важно правильно настроить высоту излучателя и параметры потока воздуха. Потребуется некоторое время на настройку. Убедитесь, что давление в чистой комнате и система вентиляции способны справиться с дополнительным потоком воздуха. В противном случае возникнут микротурбулентности, что повлияет на качество нагрева. Также необходимо регулярно калибровать излучатели — повторяемость процесса возможна только при правильной настройке.