Смотрите, как пластина с технологией Micro LED выходит из процедуры окончательного промывания и остается на месте в ожидании высыхания. На производственной линии всё может измениться очень быстро. Если температура нагревателя изменится даже на несколько десятых градуса, это приведет к тому, что капли жидкости останутся на краях пластины, узоры фоторезиста станут менее четкими, а качество продукции ухудшится ещё до начала процесса литографии. Мы создали специальный нагреватель для высыхания пластин с технологией Micro LED, чтобы устранить такие отклонения.
Что важно внутри устройства
Устройство использует кратковолновые инфракрасные элементы, расположенные за кварцевыми стеклами. Это обеспечивает быстрое нагревание и быстрое охлаждение. Равномерность температуры по всей поверхности пластины составляет ±0,1°C. Благодаря этому капли жидкости смываются полностью, а параметры фоторезиста остаются стабильными при каждой процедуре обработки.
Устройство предназначено для использования в чистых комнатах класса 1–100: используются материалы с низким уровнем выбросов, а система вентиляции не способствует перемещению частиц. Мы стремимся к полному отсутствию частиц. Нагреватель можно использовать как в составе автоматических устройств, так и отдельно; имеются стандартные варианты напряжения, а размер устройства позволяет разместить его рядом с роботизированными устройствами и средствами контроля качества.
Почему это подходит для производства Micro LED
При производстве Micro LED температурные условия очень строги, и любая контаминация может серьезно повлиять на качество продукта. Этот нагреватель обеспечивает стабильную температуру во время процедур обработки, что предотвращает отклонения в параметрах качества продукта. Когда процедура обработки становится стабильной, сокращается количество бракованных изделий.
Энергопотребление снижается, поскольку система нагревает только необходимую область, а циклы нагрева происходят быстро. Устройство рассчитано на работу круглосуточно: используются компоненты с длительным сроком службы и предсказуемыми интервалами технического обслуживания. Это помогает избежать неплановых простоев.
Некоторые замечания по эксплуатации
Лучшие результаты достигаются, когда система вентиляции соответствует конструкции устройства. Несоответствие параметров обратного давления приводит к увеличению времени высыхания и снижению качества продукта. При установке необходимо учитывать размер чехла и интерфейс подключения к конкретной платформе.
Необходимо некоторое время на настройку параметров смеси растворителей и размера пластины. После этого процесс будет проходить без перерывов.