หลอดอินฟราเรดคลื่นสั้น เซมิคอนดักเตอร์
บนชั้นลิโธกราฟี เวลาไม่เคยเป็นฝ่ายคุณ การอบแบบ soft bake ที่คลาดเคลื่อนเพียง 2°C จะทำให้อัตราการระเหยของตัวทำละลายผิดปกติ...
เครื่องทำความร้อนอินฟราเรดคลื่นกลางสำหรับเวเฟอร์
บนพื้นโรงงาน สายการผลิตกำลังส่งเสียงหึ่ง ๆ เซลล์ลิโธกราฟีทำการหมุนเวียนเวเฟอร์ผ่านกระบวนการ soft bake และ hard bake โดยจุดตั้งอุณหภูมิถูกล็อคไว้...