Litografi işlemlerinde, yumuşak veya sert pişirme sürecinde meydana gelen 0,5°C’lik bir sapma “küçük bir sapma” olarak değerlendirilemez. Bu durum, üretim verimliliğinin düşmesine neden olur; bu durum CD’nin düzgünlüğü grafiğinde ve atık malzemelerde açıkça görülebilir. Kaplama/developman cihazlarındaki kızılötesi ısıtıcılar, termal stabiliteyi optik sistemler ve fotoresistlerle uyumlu tutmak zorundadır.
Bu ısıtıcıyı, wafer seviyesinde kontrol sağlayacak şekilde tasarladık. Kızılötesi ışın yayan elemanlar, enerjiyi doğrudan waferin üzerine aktarır; böylece odanın termal dengesi bozulmadan hızlı pişirme işlemleri gerçekleştirilebilir. Waferin tüm yüzeyindeki düzgünlük ±0,1°C civarında kalır; bu da kenar kısımların da merkez kısımlarla aynı pişirme koşullarını aldığı anlamına gelir.
Donanım, temiz oda koşullarına uygundur: Kuvars kaplamalı elemanlar ve Class 1–100 ortamlarına uygun düşük gaz salınımı özellikleri bulunmaktadır. Sızdırmaz bağlantılar ve artıkların filmin içine girmesini engelleyen hava akış yolları sayesinde parçacıklar istenmeyen yerlere gitmez. Tekrarlanabilirlik ise, ısıtıcı bloğundan ziyade wafer yüzeyindeki kapalı döngü kontrolü sayesinde sağlanır.
Kaplama/developman işlemlerinde zaman ve sıcaklık önemli faktörlerdir. Kızılötesi ısıtıcı, termal aşırılıklar olmadan pişirme süresini azaltır; böylece daha hızlı işlemler yapılabilir ve kritik boyut kontrolleri sağlanabilir. Fotoresist profilleri siparişten siparişe sabit kalır; bu da daha az yeniden işlem gerektirir ve maske ayarlamalarının azalmasını sağlar.
Ayrıca bu sistem, enerji faturalarını da azaltır. Çünkü enerji doğrudan waferin üzerine aktarılır; dolayısıyla cihazın gövdesindeki israf edilen ısı miktarı azalır. Gerçekte güvenilirlik, sistemün 24/7 çalışması ve öngörülebilir bakım periyotları sayesinde sağlanır; böylece wafer üretimi engellenmez.
Kurulum işlemleri detaylara bağlıdır: Cihazın arayüzüne uyum sağlanmalı, ardından mevcut elektrik ve soğutma sistemleri kontrol edilmelidir. Isıtıcı, temiz ve kuru havayı ve sabit bir voltajı tercih eder; voltaj dalgalanmaları, hızlı işlemlerde biraz daha fazla zaman gerektirebilir.
Yaygın fotoresist türleri için kalibrasyon kiti ve şablonlar gönderiyoruz; ancak son ayarlamalar, kullanılan ölçüm ekipmanlarına ve kalifikasyon süreçlerine göre yapılmalıdır.