На етапі літографії відхилення температури у межах 0,5°C під час процесу висушування не є „незначними“. Це призводить до зниження якості продукції – це чітко видно з графіка однорідності товщини шару фотополімеру та з кількості відходів. Інфрачервоні нагрівачі повинні підтримувати теплову стабільність у гармонії з оптичними пристроями та самим фотополімером.
Ми розробили цей нагрівач з урахуванням можливостей контролю на рівні пластини. Массив інфрачервоних діодів передає енергію безпосередньо на пластину, що дозволяє швидко досягати потрібної температури без перевищення температурного режиму в камері. Однорідність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C – це означає, що краї пластини отримують такий самий профіль нагріву, як і її центр.
Обладнання підходить для використання в чистих приміщеннях: елементи обладнання закриті кварцовими корпусами, а система охолодження забезпечує низький рівень випаровування речовин. Частинки залишаються на своїх місцях завдяки герметичним з’єднанням та правильній конструкції системи вентиляції. Повторюваність результатів забезпечується завдяки контролю на поверхні пластини, а не через припущення щодо роботи нагрівача.
У процесі нанесення фотополімеру час та температура є важливими факторами. Інфрачервоний нагрівач скорочує час висушування без перевищення температурного режиму, що дозволяє працювати швидше, зберігаючи при цьому контроль над критичними параметрами. Профілі товщини шару фотополімеру залишаються стабільними між різними партіями продукції, що зменшує кількість необхідних корекцій та змін.
Це також допомагає знизити витрати на електроенергію. Оскільки енергія потрапляє безпосередньо на пластину, кількість витраченої енергії зменшується. Надійність обладнання полягає у можливості його постійної роботи протягом 24/7 з передбачуваними часами технічного обслуговування. Це дозволяє уникнути перерв у роботі, які можуть пошкодити пластини.
Встановлення обладнання полягає у точному підборі компонентів, які відповідають вимогам обладнання, а також у перевірці електричних та охолоджувальних систем. Нагрівач вимагає чистого, сухого повітря та стабільної напруги; коливання напруги можуть спричинити затримку в процесі нагрівання.
Ми постачаємо кіт для калібрування та шаблони для регулювання параметрів роботи для поширених типів фотополімерів. Однак остаточна налаштування повинна здійснюватися на основі даних, отриманих в результаті метрологічних вимірювань.