На верстаті для літографії достатньо лише 0,5°C відхилення температури під час процесу обробки, щоб зіпсувати цілий комплект виробів. Процес „м’якої“ обробки полягає у чистому видаленні розчинника; процес „жорсткої“ обробки призводить до фіксації потрібного профілю температури. Коли температурна однорідність порушується, контроль параметрів CD стає неможливим, а кількість частинок зростає.
Що ми створили та чому це важливо
Ми використали модуль обробки разом із випромінювачами короткохвильового ІЧ-світла та системою терморегуляції на основі кварцу. Це дозволяє досягти однорідності температури на рівні ±0,1°C по всій поверхні плати, а також забезпечує стабільність параметрів протягом усього часу роботи. Цей модуль підходить для використання в чистих приміщеннях класів від 1 до 100, крім того, під час обробки не утворюється частинок. Температурний профіль залишається стабільним завдяки точному дотриманню параметрів процесу.
Чому це ефективно на виробничій лінії
Процеси „м’якої“ та „жорсткої“ обробки виконуються на одній і тій самій тепловій платформі, що дозволяє уникнути відхилень між окремими печами. Це сприяє зменшенню кількості відходів та енергоспоживання – адже ІЧ-випромінювання нагріває сам об’єкт обробки, а не всю камеру. Надійність модуля гарантована – компоненти розроблені для безперервної роботи, а випромінювачі можуть працювати понад 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%. Це значно скорочує кількість необхідних корекцій та забезпечує стабільний контроль температури для кожної плати.
Що потрібно врахувати під час планування
Модуль може бути встановлений на існуючі конструкції через стандартні механічні та електричні інтерфейси. Однак йому потрібна окрема лінія живлення 24 В та ефективна система охолодження для підтримки стабільності температури. Потрібно також провести коротку перевірку для визначення відхилень температури між платою та об’єктом обробки. Після цього результати обробки залишаються стабільними з мінімальним втручанням оператора.