Ефективна обробка фотополімеру за допомогою інфрачервоного випромінювання
На верстаті для літографії достатньо лише 0,5°C відхилення температури під час процесу обробки, щоб зіпсувати цілий комплект виробів. Процес „м’якої“...
Лампа для випікання спін котера
На литографічному поверсі випікання — це не пауза, а лінія, яку не можна переступати. Soft bake видаляє розчинник з фотошаблону. Hard bake фіксує...