ہوا کو گرم کرنا بند کریں: ویفرز کو پروسس کرنے کا زیادہ موثر طریقہ
آیئے، پرانے رزسٹیو اوونز کے بارے میں بات کرتے ہیں۔ یقیناً یہ کام کرتے ہیں، لیکن در حقیقت یہ تو بس بڑے سائز کے ہیٹر ہی ہیں۔ آپ کو پورے کمرے اور اس میں موجود ہوا کو گرم کرنے کے لئے بہت زیادہ توانائی خرچ کرنی پڑتی ہے، صرف اس لئے کہ ویفر کو مناسب درجہ حرارت تک پہنچایا جاسکے۔ یہ تو بالکل بیکار ہے۔
اسی لئے ہم نے انفراریڈ حرارت کا استعمال شروع کیا ہے۔ پورے کمرے کو گرم کرنے کے بجائے، ہم حرارت کو سیدھے ویفر تک پہنچاتے ہیں۔ یہ طریقہ زیادہ موثر، تیز، اور بہتر ہے؛ اس سے کلین روم میں بلاوجہ توانائی ضائع نہیں ہوتی۔
درست درجہ حرارت حاصل کرنا
اس کاروبار میں، اگر درجہ حرارت میں تھوڑی سی بھی غلطی ہو جائے، تو پورے بیچ کے سلیکون چپس بیکار ہو جاتے ہیں۔ یہ تو کوئی بھی نہیں چاہتا۔
ہم شارٹ ویو ریڈی ایشن کا استعمال کرکے ویفر کو چند سیکنڈوں میں مناسب درجہ حرارت تک پہنچاتے ہیں۔ چونکہ یہ ریڈی ایٹو حرارت ہے، اس لئے آپ کو آلے کے ڈھانچے کو گرم کرنے کے لئے کوئی توانائی خرچ نہیں کرنی پڑتی۔ ہم واٹس-فی-سنٹی میٹر کے تناسب پر خصوصی توجہ دیتے ہیں، تاکہ حرارت یکساں رہے، کوئی گرم نقطہ نہ رہے۔
پیچھے کا راز
ہم ان آلات کو ٹنگسٹن فلامنٹس اور اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز سے بناتے ہیں۔ لیکن یہاں ایک چال ہے: ہم اس کوارٹز پر خاص کوٹنگ لگاتے ہیں۔ کیوں؟ کیونکہ ہم چاہتے ہیں کہ ویفر توانائی کو جذب کرے، نہ کہ اسے آئینے کی طرح واپس منعکس کرے۔
ہم ان لیمپوں کو PID کنٹرولرز کے ساتھ استعمال کرتے ہیں، جو فوری طور پر ردِعمل دیتے ہیں۔ آپ حرارت کو فوری طور پر بڑھا یا کم کر سکتے ہیں۔ اس سے پورا عمل زیادہ تیز اور قابو میں رہتا ہے۔
خامیاں اور ان سے نمٹنے کا طریقہ
لیکن ایک مسئلہ یہ ہے کہ اعلیٰ واٹج کے انفراریڈ آلات بہت زیادہ توانائی استعمال کرتے ہیں۔ یہ تو بہتر ہے کہ زیادہ چپس تیار کی جائیں، لیکن اس سے کولنگ سسٹم پر بہت دباؤ پڑتا ہے۔
اگر آپ کا کولنگ سسٹم اس دباؤ کو برداشت نہ کر سکے، تو آلے کا ڈھانچہ بہت گرم ہو جاتا ہے۔ اس صورت میں سینسرز درست کام نہیں کرتے، اور فلامنٹس بھی جل جاتے ہیں۔ آپ کو یقین کرنا ہوگا کہ آپ کا کولنگ سسٹم اس توانائی کو برداشت کر سکے۔
لیکن اس کا فائدہ بہت ہے۔ تمام بیکار توانائی کو ختم کرنے سے، آپ کے بجلی کے بل کم ہو جاتے ہیں، اور کاربن فٹ پرنٹ بھی کم ہو جاتا ہے۔ آپ کو ایک “سبز” فیکٹری ملتی ہے، جو درست طریقے سے کام کرتی ہے، اور چپس کی کارکردگی پر کوئی اثر نہیں پڑتا۔